电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2013年
11期
12-18
,共7页
武永超%赵权%陆峰%佟丽英
武永超%趙權%陸峰%佟麗英
무영초%조권%륙봉%동려영
喷砂工艺%硅片软损伤吸杂%颗粒去除%金属
噴砂工藝%硅片軟損傷吸雜%顆粒去除%金屬
분사공예%규편연손상흡잡%과립거제%금속
硅中的金属离子杂质会明显降低少子寿命,并进一步影响硅器件的性能.因此对硅片背面喷砂工艺进行了系统的研究.通过喷砂工艺,在硅片背面形成软损伤层,使硅片具有了吸杂能力,并从吸杂机理出发,解决了吸杂工艺带来的硅抛光片表面颗粒效应,并对硅抛光片的吸杂效果及表面颗粒度进行了表征,为具有吸杂性能的“开盒即用”硅抛光片的批量化生产提供了有力的技术保证.
硅中的金屬離子雜質會明顯降低少子壽命,併進一步影響硅器件的性能.因此對硅片揹麵噴砂工藝進行瞭繫統的研究.通過噴砂工藝,在硅片揹麵形成軟損傷層,使硅片具有瞭吸雜能力,併從吸雜機理齣髮,解決瞭吸雜工藝帶來的硅拋光片錶麵顆粒效應,併對硅拋光片的吸雜效果及錶麵顆粒度進行瞭錶徵,為具有吸雜性能的“開盒即用”硅拋光片的批量化生產提供瞭有力的技術保證.
규중적금속리자잡질회명현강저소자수명,병진일보영향규기건적성능.인차대규편배면분사공예진행료계통적연구.통과분사공예,재규편배면형성연손상층,사규편구유료흡잡능력,병종흡잡궤리출발,해결료흡잡공예대래적규포광편표면과립효응,병대규포광편적흡잡효과급표면과립도진행료표정,위구유흡잡성능적“개합즉용”규포광편적비양화생산제공료유력적기술보증.
