电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2013年
11期
1-3,32
,共4页
陈特超%龙长林%胡凡%刘欣%王慧勇
陳特超%龍長林%鬍凡%劉訢%王慧勇
진특초%룡장림%호범%류흔%왕혜용
离子束%溅射%薄膜%射频离子源%溅射靶
離子束%濺射%薄膜%射頻離子源%濺射靶
리자속%천사%박막%사빈리자원%천사파
介绍了一种用于氧化物薄膜制备的射频离子束辅助溅射镀膜设备,阐述了设备原理、组成、特点以及试验结果.通过使用射频离子源和射频中和器,解决了采用热灯丝离子源的同类设备中灯丝易被氧化的关键问题,适合于氧化物薄膜制备.
介紹瞭一種用于氧化物薄膜製備的射頻離子束輔助濺射鍍膜設備,闡述瞭設備原理、組成、特點以及試驗結果.通過使用射頻離子源和射頻中和器,解決瞭採用熱燈絲離子源的同類設備中燈絲易被氧化的關鍵問題,適閤于氧化物薄膜製備.
개소료일충용우양화물박막제비적사빈리자속보조천사도막설비,천술료설비원리、조성、특점이급시험결과.통과사용사빈리자원화사빈중화기,해결료채용열등사리자원적동류설비중등사역피양화적관건문제,괄합우양화물박막제비.
