气相沉积TiAlN薄膜及其性能分析
기상침적TiAlN박막급기성능분석
TiAlN Thin Films Prepared by Vapor Deposition and Its Performance Analysis
  • 万方数据
    热处理技术与装备 열처리기술여장비
    HEAT TREATMENT TECHNOLOGY AND EQUIPMENT
    2013年 3期 27-30 ,共4页

    刘志远%潘全喜

    류지원%반전희

    磁控溅射%TiAlN%结合力 磁控濺射%TiAlN%結閤力
    자공천사%TiAlN%결합력
    利用非平衡磁控溅射离子镀设备,在轴承钢和硬质合金表面沉积TiAlN薄膜,并对薄膜结构和主要性能进行了分析.所镀薄膜厚度可超过3 μm,薄膜的生长比较好,形成了细化的柱状晶粒.经断口扫描分析发现薄膜与基体的结合比较牢固,结合力可达41 N.
    이용비평형자공천사리자도설비,재축승강화경질합금표면침적TiAlN박막,병대박막결구화주요성능진행료분석.소도박막후도가초과3 μm,박막적생장비교호,형성료세화적주상정립.경단구소묘분석발현박막여기체적결합비교뢰고,결합력가체41 N.
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