PCVD直流脉冲沉积温度对TiN/TiSiN复合涂层高温氧化性能的影响
PCVD직류맥충침적온도대TiN/TiSiN복합도층고온양화성능적영향
Influence of PCVD DC Pulse Deposited Temperature on High Temperature Oxidation Resistance of TiN/TiSiN Multilayer Coatings
  • 万方数据
    工具技术 공구기술
    TOOL ENGINEERING
    2013年 12期 17-20 ,共4页

    宋之敏%曾天%韩纪梅%高见%李洪林%丁武成%刘岁林%郑淑萍

    송지민%증천%한기매%고견%리홍림%정무성%류세림%정숙평

    TiN/TiSiN涂层%高温氧化%微观结构%表面形貌 TiN/TiSiN塗層%高溫氧化%微觀結構%錶麵形貌
    TiN/TiSiN도층%고온양화%미관결구%표면형모
    TiN/TiSiN coating%high temperature oxidation%microstructure%surface morphology
    采用工业用直流脉冲等离子体增强化学气相沉积(PCVD)法在硬质合金刀具材料上制备了TiN/TiSiN复合涂层.对比研究了TiN及不同温度制备的TiN/TiSiN复合涂层高温抗氧化性能.研究表明:含有非晶阻隔抗氧化结构Si3Nx的TiN/TiSiN复合涂层高温氧化性能远高于TiN涂层,TiN/TiSiN复合涂层提高到800℃,仍可避免出现较大面积氧化及脱落;PCVD直流脉冲沉积制备温度对涂层高温抗氧化能力有重要影响,550℃沉积制备的致密、均匀、颗粒小的复合涂层高温氧化性能最佳,600℃次之,500℃最差.
    채용공업용직류맥충등리자체증강화학기상침적(PCVD)법재경질합금도구재료상제비료TiN/TiSiN복합도층.대비연구료TiN급불동온도제비적TiN/TiSiN복합도층고온항양화성능.연구표명:함유비정조격항양화결구Si3Nx적TiN/TiSiN복합도층고온양화성능원고우TiN도층,TiN/TiSiN복합도층제고도800℃,잉가피면출현교대면적양화급탈락;PCVD직류맥충침적제비온도대도층고온항양화능력유중요영향,550℃침적제비적치밀、균균、과립소적복합도층고온양화성능최가,600℃차지,500℃최차.
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