重庆理工大学学报（自然科学版）
重慶理工大學學報（自然科學版）
중경리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2013年
12期
38-43
,共6页
王松%李晖%陈勇%许洪斌%孙迎军%刘威
王鬆%李暉%陳勇%許洪斌%孫迎軍%劉威
왕송%리휘%진용%허홍빈%손영군%류위
磁控溅射%CrN涂层%工艺优化
磁控濺射%CrN塗層%工藝優化
자공천사%CrN도층%공예우화
magnetron sputtering%CrN coating%process optimization design
为找到合适的工艺方案,使之能通过磁控溅射在调质40Cr表面制备得到性能良好的CrN涂层,采用正交试验的方法进行试验设计及数据分析.选取氮气流量、工作真空度、靶功率、沉积时间为主要因素,将涂层表面光洁度、涂层厚度、涂层硬度、涂层与基体的结合力作为衡量标准.结果表明最佳工艺方案为:N2流量为40 sccm,工作真空度为1.2 Pa,靶功率为150 W,沉积时间为120 min.
為找到閤適的工藝方案,使之能通過磁控濺射在調質40Cr錶麵製備得到性能良好的CrN塗層,採用正交試驗的方法進行試驗設計及數據分析.選取氮氣流量、工作真空度、靶功率、沉積時間為主要因素,將塗層錶麵光潔度、塗層厚度、塗層硬度、塗層與基體的結閤力作為衡量標準.結果錶明最佳工藝方案為:N2流量為40 sccm,工作真空度為1.2 Pa,靶功率為150 W,沉積時間為120 min.
위조도합괄적공예방안,사지능통과자공천사재조질40Cr표면제비득도성능량호적CrN도층,채용정교시험적방법진행시험설계급수거분석.선취담기류량、공작진공도、파공솔、침적시간위주요인소,장도층표면광길도、도층후도、도층경도、도층여기체적결합력작위형량표준.결과표명최가공예방안위:N2류량위40 sccm,공작진공도위1.2 Pa,파공솔위150 W,침적시간위120 min.
