东方电气评论
東方電氣評論
동방전기평론
2013年
4期
12-15
,共4页
单晶硅%替位碳含量%低温红外光谱
單晶硅%替位碳含量%低溫紅外光譜
단정규%체위탄함량%저온홍외광보
对不同单晶硅片中的替位碳含量进行了常温/低温(＜15K)红外光谱测试.通过对比研究发现,在所有实验样品中,除一个碳含量高的样品相对偏差较大以外,其余样品的相对偏差都很小,均在±0.06ppma以内.实验证明低温(＜15K)红外光谱可以替代常温红外光谱完成杂质碳含量的检测,低温红外光谱的一次扫描即可同时完成碳、硼、磷杂质的含量检测.本文为多晶硅生产中的杂质含量分析提供了一种快速、高效的检测模式,避免了设备的重复和资源的浪费.
對不同單晶硅片中的替位碳含量進行瞭常溫/低溫(＜15K)紅外光譜測試.通過對比研究髮現,在所有實驗樣品中,除一箇碳含量高的樣品相對偏差較大以外,其餘樣品的相對偏差都很小,均在±0.06ppma以內.實驗證明低溫(＜15K)紅外光譜可以替代常溫紅外光譜完成雜質碳含量的檢測,低溫紅外光譜的一次掃描即可同時完成碳、硼、燐雜質的含量檢測.本文為多晶硅生產中的雜質含量分析提供瞭一種快速、高效的檢測模式,避免瞭設備的重複和資源的浪費.
대불동단정규편중적체위탄함량진행료상온/저온(＜15K)홍외광보측시.통과대비연구발현,재소유실험양품중,제일개탄함량고적양품상대편차교대이외,기여양품적상대편차도흔소,균재±0.06ppma이내.실험증명저온(＜15K)홍외광보가이체대상온홍외광보완성잡질탄함량적검측,저온홍외광보적일차소묘즉가동시완성탄、붕、린잡질적함량검측.본문위다정규생산중적잡질함량분석제공료일충쾌속、고효적검측모식,피면료설비적중복화자원적낭비.
