中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
24期
3289-3294
,共6页
张俊杰%闫永达%孙涛%高强%梁迎春%董申
張俊傑%閆永達%孫濤%高彊%樑迎春%董申
장준걸%염영체%손도%고강%량영춘%동신
纳米机械加工%单晶铜%分子动力学%表面形貌
納米機械加工%單晶銅%分子動力學%錶麵形貌
납미궤계가공%단정동%분자동역학%표면형모
mechanical nanomachining%single crystalline copper%molecular dynamics%surface morphology
以单晶铜微探针纳米刻划加工为例,提出了一种分子动力学模拟与实验的间接对比方法,依次开展了工件材料的弹性常量的定量对比、工件材料机械性能的纳米压痕测量的定量对比、已加工表面形貌的定性对比.单晶铜工件压缩、剪切、拉伸和纳米压痕的分子动力学模拟显示,分子动力学模拟体系的弹性模量与实验测得值相同,压痕后工件表面材料堆积的对称特性与实验结果相符.研究结果表明,所使用的嵌入原子势能函数可以精确地描述单晶铜工件中铜原子之间的相互作用,纳米机械加工的分子动力学模拟具有较高的精度,并且可以很好地预测纳米机械加工的实验结果.
以單晶銅微探針納米刻劃加工為例,提齣瞭一種分子動力學模擬與實驗的間接對比方法,依次開展瞭工件材料的彈性常量的定量對比、工件材料機械性能的納米壓痕測量的定量對比、已加工錶麵形貌的定性對比.單晶銅工件壓縮、剪切、拉伸和納米壓痕的分子動力學模擬顯示,分子動力學模擬體繫的彈性模量與實驗測得值相同,壓痕後工件錶麵材料堆積的對稱特性與實驗結果相符.研究結果錶明,所使用的嵌入原子勢能函數可以精確地描述單晶銅工件中銅原子之間的相互作用,納米機械加工的分子動力學模擬具有較高的精度,併且可以很好地預測納米機械加工的實驗結果.
이단정동미탐침납미각화가공위례,제출료일충분자동역학모의여실험적간접대비방법,의차개전료공건재료적탄성상량적정량대비、공건재료궤계성능적납미압흔측량적정량대비、이가공표면형모적정성대비.단정동공건압축、전절、랍신화납미압흔적분자동역학모의현시,분자동역학모의체계적탄성모량여실험측득치상동,압흔후공건표면재료퇴적적대칭특성여실험결과상부.연구결과표명,소사용적감입원자세능함수가이정학지묘술단정동공건중동원자지간적상호작용,납미궤계가공적분자동역학모의구유교고적정도,병차가이흔호지예측납미궤계가공적실험결과.
