传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
1期
18-21
,共4页
电化学加速度传感器%ACCA四电极阵列%Comsol仿真%微机电系统
電化學加速度傳感器%ACCA四電極陣列%Comsol倣真%微機電繫統
전화학가속도전감기%ACCA사전겁진렬%Comsol방진%미궤전계통
electrochemical acceleration sensor%ACCA four-electrode array%Comsol simulation%micro-electromechanical system(MEMS)
基于溶液相对于电极的运动会使电极附近因电势差作用而产生的离子浓度梯度发生改变,从而使电极电流发生变化等电化学原理,建立一种置于碘(I2)和碘化钾(KI)混合水溶液环境中的阳极-阴极-阴极-阳极(ACCA)四电极阵列传感单元模型.通过理论分析,该传感单元可以局部电解液为惯性质量,利用电解液中带电离子相对于电极的运动来产生并输出附加电流；进一步的建模仿真证明:在一定的加速度范围内(0＜ax＜0.149 m/s2),附加电流的大小同加速度呈正比关系,故可以将此电流放大输出,从而实现对加速度大小的表征.可利用MEMS工艺制作,并封装此传感单元成为加速度传感器.
基于溶液相對于電極的運動會使電極附近因電勢差作用而產生的離子濃度梯度髮生改變,從而使電極電流髮生變化等電化學原理,建立一種置于碘(I2)和碘化鉀(KI)混閤水溶液環境中的暘極-陰極-陰極-暘極(ACCA)四電極陣列傳感單元模型.通過理論分析,該傳感單元可以跼部電解液為慣性質量,利用電解液中帶電離子相對于電極的運動來產生併輸齣附加電流；進一步的建模倣真證明:在一定的加速度範圍內(0＜ax＜0.149 m/s2),附加電流的大小同加速度呈正比關繫,故可以將此電流放大輸齣,從而實現對加速度大小的錶徵.可利用MEMS工藝製作,併封裝此傳感單元成為加速度傳感器.
기우용액상대우전겁적운동회사전겁부근인전세차작용이산생적리자농도제도발생개변,종이사전겁전류발생변화등전화학원리,건립일충치우전(I2)화전화갑(KI)혼합수용액배경중적양겁-음겁-음겁-양겁(ACCA)사전겁진열전감단원모형.통과이론분석,해전감단원가이국부전해액위관성질량,이용전해액중대전리자상대우전겁적운동래산생병수출부가전류；진일보적건모방진증명:재일정적가속도범위내(0＜ax＜0.149 m/s2),부가전류적대소동가속도정정비관계,고가이장차전류방대수출,종이실현대가속도대소적표정.가이용MEMS공예제작,병봉장차전감단원성위가속도전감기.
