技术与市场
技術與市場
기술여시장
TECHNOLOGY AND MARKET
2013年
12期
150
,共1页
王丽%董连和%季振强%陈哲
王麗%董連和%季振彊%陳哲
왕려%동련화%계진강%진철
HEBS玻璃%灰阶掩模%电子束直写%菲涅尔透镜
HEBS玻璃%灰階掩模%電子束直寫%菲涅爾透鏡
HEBS파리%회계엄모%전자속직사%비열이투경
从HEBS玻璃能量作用机理和曝光量与透过率关系着手,研究利用电子束直写曝光的方法,在HEBS玻璃上制作8阶菲涅尔透镜变灰阶掩模,得到掩模最大透过率为44.8％,最小透过率为8.7％.利用该掩模制得菲涅尔透镜衍射效率高达91％,证实利用HEBS玻璃制作灰阶掩模的可行性及实用性.
從HEBS玻璃能量作用機理和曝光量與透過率關繫著手,研究利用電子束直寫曝光的方法,在HEBS玻璃上製作8階菲涅爾透鏡變灰階掩模,得到掩模最大透過率為44.8％,最小透過率為8.7％.利用該掩模製得菲涅爾透鏡衍射效率高達91％,證實利用HEBS玻璃製作灰階掩模的可行性及實用性.
종HEBS파리능량작용궤리화폭광량여투과솔관계착수,연구이용전자속직사폭광적방법,재HEBS파리상제작8계비열이투경변회계엄모,득도엄모최대투과솔위44.8％,최소투과솔위8.7％.이용해엄모제득비열이투경연사효솔고체91％,증실이용HEBS파리제작회계엄모적가행성급실용성.
