基于时序分析的光刻版清洗机运行效率提升方法
기우시서분석적광각판청세궤운행효솔제승방법
A Method for Stepping up the Run Efficiency of the Photomask Cleaning System Based on Timing Analysis
  • 万方数据
    电子工业专用设备 전자공업전용설비
    EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
    2013年 12期 36-38 ,共3页

    侯为萍%高建利%刘玉倩

    후위평%고건리%류옥천

    光刻版清洗机%时序分析%运行效率 光刻版清洗機%時序分析%運行效率
    광각판청세궤%시서분석%운행효솔
    光刻版清洗机是典型的多轴运行类自动化清洗设备,清洗效率的提升是此设备的关键技术之一.介绍了一种基于时序分析的提升该设备运行效率的方法,实验证明此方法通过对控制时序的分析和优化,有效提升了设备的运行效率.
    광각판청세궤시전형적다축운행류자동화청세설비,청세효솔적제승시차설비적관건기술지일.개소료일충기우시서분석적제승해설비운행효솔적방법,실험증명차방법통과대공제시서적분석화우화,유효제승료설비적운행효솔.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문