测控技术
測控技術
측공기술
MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY
2014年
1期
153-156
,共4页
测压铜柱%校准%半导体制冷%温度控制
測壓銅柱%校準%半導體製冷%溫度控製
측압동주%교준%반도체제랭%온도공제
pressure-measuring copper cylinder%calibration%semiconductor refrigeration%temperature control
测压铜柱在高低温环境下使用时会带来较大的测压误差,必须进行高低温校准.针对当前测压铜柱高低温静态校准系统中的高低温加载部分使用不便的问题,提出了基于半导体制冷技术对其进行改进.对高低温箱的结构及温度测控系统进行了设计及研制,并进行了温度控制实验,高低温箱可控制在-40~ 50℃范围内,温度控制精度优于±0.5℃,满足了测压铜柱高低温静态校准的要求.
測壓銅柱在高低溫環境下使用時會帶來較大的測壓誤差,必鬚進行高低溫校準.針對噹前測壓銅柱高低溫靜態校準繫統中的高低溫加載部分使用不便的問題,提齣瞭基于半導體製冷技術對其進行改進.對高低溫箱的結構及溫度測控繫統進行瞭設計及研製,併進行瞭溫度控製實驗,高低溫箱可控製在-40~ 50℃範圍內,溫度控製精度優于±0.5℃,滿足瞭測壓銅柱高低溫靜態校準的要求.
측압동주재고저온배경하사용시회대래교대적측압오차,필수진행고저온교준.침대당전측압동주고저온정태교준계통중적고저온가재부분사용불편적문제,제출료기우반도체제랭기술대기진행개진.대고저온상적결구급온도측공계통진행료설계급연제,병진행료온도공제실험,고저온상가공제재-40~ 50℃범위내,온도공제정도우우±0.5℃,만족료측압동주고저온정태교준적요구.