测控技术
測控技術
측공기술
MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY
2014年
1期
91-95
,共5页
姚庆梅%许夫明%牟洵%贾燕
姚慶梅%許伕明%牟洵%賈燕
요경매%허부명%모순%가연
磁控溅射%PLC%模糊控制%离线计算%在线查表
磁控濺射%PLC%模糊控製%離線計算%在線查錶
자공천사%PLC%모호공제%리선계산%재선사표
magnetron sputtering%PLC%fuzzy control%off-line calculation%online look-up table
针对磁控溅射镀膜生产中,靶电源的输出功率存在大时滞、非线性和难以确定其精确数学模型等问题,提出了将PLC技术与模糊算法相结合的控制策略实现靶电源输出功率的模糊智能控制.首先对模糊控制的原理和模糊控制器的设计进行了详细介绍,然后给出了模糊算法在PLC控制上的具体实现方法.在程序的设计上,采用离线计算、在线查表的方法,不仅节省了实际控制中的计算时间,而且使得复杂的模糊控制算法在实际应用中简单明了.最后通过仿真验证了模糊控制策略在靶电源输出功率的控制上达到了良好的效果.
針對磁控濺射鍍膜生產中,靶電源的輸齣功率存在大時滯、非線性和難以確定其精確數學模型等問題,提齣瞭將PLC技術與模糊算法相結閤的控製策略實現靶電源輸齣功率的模糊智能控製.首先對模糊控製的原理和模糊控製器的設計進行瞭詳細介紹,然後給齣瞭模糊算法在PLC控製上的具體實現方法.在程序的設計上,採用離線計算、在線查錶的方法,不僅節省瞭實際控製中的計算時間,而且使得複雜的模糊控製算法在實際應用中簡單明瞭.最後通過倣真驗證瞭模糊控製策略在靶電源輸齣功率的控製上達到瞭良好的效果.
침대자공천사도막생산중,파전원적수출공솔존재대시체、비선성화난이학정기정학수학모형등문제,제출료장PLC기술여모호산법상결합적공제책략실현파전원수출공솔적모호지능공제.수선대모호공제적원리화모호공제기적설계진행료상세개소,연후급출료모호산법재PLC공제상적구체실현방법.재정서적설계상,채용리선계산、재선사표적방법,불부절성료실제공제중적계산시간,이차사득복잡적모호공제산법재실제응용중간단명료.최후통과방진험증료모호공제책략재파전원수출공솔적공제상체도료량호적효과.
