北京石油化工学院学报
北京石油化工學院學報
북경석유화공학원학보
JOURNAL OF BEIJING INSTITUTE OF PETRO-CHEMICAL TECHNOLOGY
2013年
4期
1-4
,共4页
周洋%武光明%殷天兰%丁尧
週洋%武光明%慇天蘭%丁堯
주양%무광명%은천란%정요
液位沉降%ITO薄膜%光电性能
液位沉降%ITO薄膜%光電性能
액위침강%ITO박막%광전성능
level sedimentation%ITO thin film%photoelectric properties
采用自制的液位沉降制备薄膜装置在普通玻璃衬底上沉积了ITO薄膜,并对实验条件进行正交设计以考察制备ITO薄膜的最优条件.结果表明,采用液位沉降法成功地制备出ITO薄膜.该装置结构简单、操作方便.影响ITO薄膜光电性能的主要因素是镀膜层数,在进行的实验中,制备ITO薄膜的优化条件为:注射回抽速度为2.5 cm/min,膜层数为20层,装置倾斜角度为30°,在300℃下预处理5 min,500℃下退火处理2h,得到的薄膜的透光率为88.3％,方块电阻为970 Ω/□.
採用自製的液位沉降製備薄膜裝置在普通玻璃襯底上沉積瞭ITO薄膜,併對實驗條件進行正交設計以攷察製備ITO薄膜的最優條件.結果錶明,採用液位沉降法成功地製備齣ITO薄膜.該裝置結構簡單、操作方便.影響ITO薄膜光電性能的主要因素是鍍膜層數,在進行的實驗中,製備ITO薄膜的優化條件為:註射迴抽速度為2.5 cm/min,膜層數為20層,裝置傾斜角度為30°,在300℃下預處理5 min,500℃下退火處理2h,得到的薄膜的透光率為88.3％,方塊電阻為970 Ω/□.
채용자제적액위침강제비박막장치재보통파리츤저상침적료ITO박막,병대실험조건진행정교설계이고찰제비ITO박막적최우조건.결과표명,채용액위침강법성공지제비출ITO박막.해장치결구간단、조작방편.영향ITO박막광전성능적주요인소시도막층수,재진행적실험중,제비ITO박막적우화조건위:주사회추속도위2.5 cm/min,막층수위20층,장치경사각도위30°,재300℃하예처리5 min,500℃하퇴화처리2h,득도적박막적투광솔위88.3％,방괴전조위970 Ω/□.
