CAJ | 학술논문

针对高功率板条激光器核心工作器件——板条Nd∶YAG晶体的超精密加工开展研究,分析了具有特殊构型的板条Nd∶YAG晶体元件的加工性能及工艺难点,提出了一种新的基于合成盘抛光的板条Nd∶YAG晶体加工工艺,并对规格为100 mm×30 mm×3 mm的板条Nd∶YAG晶体进行了加工实验.实验结果表明,合成盘抛光可以很好地控制元件的塌边现象;通过磨料的优化选择,在合成盘抛光工艺中匹配合适粒度的Al2O3磨料能够实现元件的低缺陷加工,元件下盘后的全反射面平面度达0.217 λ(1λ=632.8 nm),端面平面度达到0.06λ,表面粗糙度达0.55 nm(RMS),端面楔角精度可达2″.
침대고공솔판조격광기핵심공작기건——판조Nd∶YAG정체적초정밀가공개전연구,분석료구유특수구형적판조Nd∶YAG정체원건적가공성능급공예난점,제출료일충신적기우합성반포광적판조Nd∶YAG정체가공공예,병대규격위100 mm×30 mm×3 mm적판조Nd∶YAG정체진행료가공실험.실험결과표명,합성반포광가이흔호지공제원건적탑변현상;통과마료적우화선택,재합성반포광공예중필배합괄립도적Al2O3마료능구실현원건적저결함가공,원건하반후적전반사면평면도체0.217 λ(1λ=632.8 nm),단면평면도체도0.06λ,표면조조도체0.55 nm(RMS),단면설각정도가체2″.