辽宁工业大学学报（自然科学版）
遼寧工業大學學報（自然科學版）
료녕공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAONING UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
6期
400-402
,共3页
盘形压电振子%行波%超声振动%硅片%化学机械抛光
盤形壓電振子%行波%超聲振動%硅片%化學機械拋光
반형압전진자%행파%초성진동%규편%화학궤계포광
应用盘形超声压电振子在抛光实验装置上对硅片进行了化学机械抛光,比较了附加行波超声振动的化学机械抛光与传统化学机械抛光的实际效果,实验结果表明,在相同的实验工况下,施加行波超声振动相对于不施加振动,能明显改善硅片化学机械抛光的表面质量.振子振幅的增大对改善硅片表面质量有利.
應用盤形超聲壓電振子在拋光實驗裝置上對硅片進行瞭化學機械拋光,比較瞭附加行波超聲振動的化學機械拋光與傳統化學機械拋光的實際效果,實驗結果錶明,在相同的實驗工況下,施加行波超聲振動相對于不施加振動,能明顯改善硅片化學機械拋光的錶麵質量.振子振幅的增大對改善硅片錶麵質量有利.
응용반형초성압전진자재포광실험장치상대규편진행료화학궤계포광,비교료부가행파초성진동적화학궤계포광여전통화학궤계포광적실제효과,실험결과표명,재상동적실험공황하,시가행파초성진동상대우불시가진동,능명현개선규편화학궤계포광적표면질량.진자진폭적증대대개선규편표면질량유리.
