温州大学学报（自然科学版）
溫州大學學報（自然科學版）
온주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF WENZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2014年
1期
58-62
,共5页
振镜扫描%激光刻蚀%光斑畸变%焦深%光束入射角
振鏡掃描%激光刻蝕%光斑畸變%焦深%光束入射角
진경소묘%격광각식%광반기변%초심%광속입사각
以加工焦深限制范围内的倾斜平面模型来模拟工件表面的微观不平坦状况,对激光束以一定倾角入射工件表面的光斑畸变及其对刻蚀质量的影响开展了理论和实验方面的初步探索.结果表明,随着激光束入射方向与工件表面法向的夹角(简称入射角)的增大,光斑畸变量也越来越大,振镜沿水平路径扫描的刻蚀线宽始终比竖直路径的大,刻蚀线长始终比竖直路径的小;相对于水平刻蚀路径,竖直刻蚀路径刻槽的任意位置经历的激光辐照时间更长,物质蒸发、重熔更充分,刻槽更深,金属重铸层更厚,刻槽的侧壁和底部形貌更为平整光滑.
以加工焦深限製範圍內的傾斜平麵模型來模擬工件錶麵的微觀不平坦狀況,對激光束以一定傾角入射工件錶麵的光斑畸變及其對刻蝕質量的影響開展瞭理論和實驗方麵的初步探索.結果錶明,隨著激光束入射方嚮與工件錶麵法嚮的夾角(簡稱入射角)的增大,光斑畸變量也越來越大,振鏡沿水平路徑掃描的刻蝕線寬始終比豎直路徑的大,刻蝕線長始終比豎直路徑的小;相對于水平刻蝕路徑,豎直刻蝕路徑刻槽的任意位置經歷的激光輻照時間更長,物質蒸髮、重鎔更充分,刻槽更深,金屬重鑄層更厚,刻槽的側壁和底部形貌更為平整光滑.
이가공초심한제범위내적경사평면모형래모의공건표면적미관불평탄상황,대격광속이일정경각입사공건표면적광반기변급기대각식질량적영향개전료이론화실험방면적초보탐색.결과표명,수착격광속입사방향여공건표면법향적협각(간칭입사각)적증대,광반기변량야월래월대,진경연수평로경소묘적각식선관시종비수직로경적대,각식선장시종비수직로경적소;상대우수평각식로경,수직각식로경각조적임의위치경력적격광복조시간경장,물질증발、중용경충분,각조경심,금속중주층경후,각조적측벽화저부형모경위평정광활.
