压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2014年
1期
12-15,18
,共5页
彭文博%贺永宁%赵小龙%刘晗%康雪%文常保
彭文博%賀永寧%趙小龍%劉晗%康雪%文常保
팽문박%하영저%조소룡%류함%강설%문상보
声表面波%ZnO薄膜%氧气吸附与解吸附%本征缺陷
聲錶麵波%ZnO薄膜%氧氣吸附與解吸附%本徵缺陷
성표면파%ZnO박막%양기흡부여해흡부%본정결함
surface acoustic wave%ZnO thin film%oxygen adsorption and desorption%native defect
通过射频磁控溅射法在以128°Y-X LiNbO3为压电衬底的声表面波(SAW)小波器件上沉积了一层ZnO薄膜作为紫外光敏感膜,利用网络分析仪对所制备探测器的紫外光响应特性进行了测试.实验结果表明,在波长365 nm、光强210 μW/cm2的紫外光照射下,探测器的频移量最大可达到37 kHz,且具有良好的可重复性.探测器的紫外光响应过程和暗场恢复过程均包含了一个快过程和一个慢过程,前者决定于ZnO薄膜表面氧气分子的吸附与解吸附过程,而后者则决定于外界氧气分子与ZnO内部本征缺陷间的慢交换过程.最后,结合声电效应和半导体光电导效应分析给出了探测器紫外光响应过程和暗场恢复过程的理论公式.该文对基于ZnO薄膜的高灵敏度SAW紫外探测器响应机制的揭示,为其瞬态特性的改善和实用化提供了思路.
通過射頻磁控濺射法在以128°Y-X LiNbO3為壓電襯底的聲錶麵波(SAW)小波器件上沉積瞭一層ZnO薄膜作為紫外光敏感膜,利用網絡分析儀對所製備探測器的紫外光響應特性進行瞭測試.實驗結果錶明,在波長365 nm、光彊210 μW/cm2的紫外光照射下,探測器的頻移量最大可達到37 kHz,且具有良好的可重複性.探測器的紫外光響應過程和暗場恢複過程均包含瞭一箇快過程和一箇慢過程,前者決定于ZnO薄膜錶麵氧氣分子的吸附與解吸附過程,而後者則決定于外界氧氣分子與ZnO內部本徵缺陷間的慢交換過程.最後,結閤聲電效應和半導體光電導效應分析給齣瞭探測器紫外光響應過程和暗場恢複過程的理論公式.該文對基于ZnO薄膜的高靈敏度SAW紫外探測器響應機製的揭示,為其瞬態特性的改善和實用化提供瞭思路.
통과사빈자공천사법재이128°Y-X LiNbO3위압전츤저적성표면파(SAW)소파기건상침적료일층ZnO박막작위자외광민감막,이용망락분석의대소제비탐측기적자외광향응특성진행료측시.실험결과표명,재파장365 nm、광강210 μW/cm2적자외광조사하,탐측기적빈이량최대가체도37 kHz,차구유량호적가중복성.탐측기적자외광향응과정화암장회복과정균포함료일개쾌과정화일개만과정,전자결정우ZnO박막표면양기분자적흡부여해흡부과정,이후자칙결정우외계양기분자여ZnO내부본정결함간적만교환과정.최후,결합성전효응화반도체광전도효응분석급출료탐측기자외광향응과정화암장회복과정적이론공식.해문대기우ZnO박막적고령민도SAW자외탐측기향응궤제적게시,위기순태특성적개선화실용화제공료사로.
