压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2014年
1期
1-3
,共3页
郑升灵%李丽%要志宏%李宏军%李丰
鄭升靈%李麗%要誌宏%李宏軍%李豐
정승령%리려%요지굉%리굉군%리봉
氮化铝(AlN)%轮廓模式%体声波%矩形盘谐振器
氮化鋁(AlN)%輪廓模式%體聲波%矩形盤諧振器
담화려(AlN)%륜곽모식%체성파%구형반해진기
aluminum nitride(AlN)%contour-mode%bulk acoustic wave%rectangle plate resonator
介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的“三明治”空气腔悬梁结构.该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20 MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5％.
介紹瞭一種微型化體聲波諧振器的理論模型和實作結果,採用微電子和微機械加工技術,實現瞭一種上、下電極覆蓋壓電AlN的“三明治”空氣腔懸樑結構.該諧振器具有微型化,高品質因數,低成本的特點,實作的諧振器頻率約20 MHz,品質因數為800,機電耦閤繫數約0.5％.
개소료일충미형화체성파해진기적이론모형화실작결과,채용미전자화미궤계가공기술,실현료일충상、하전겁복개압전AlN적“삼명치”공기강현량결구.해해진기구유미형화,고품질인수,저성본적특점,실작적해진기빈솔약20 MHz,품질인수위800,궤전우합계수약0.5％.
