国防制造技术
國防製造技術
국방제조기술
DEFENSE MANUFACTURING TECHNOLOGY
2013年
5期
34-37
,共4页
超临界CO2%清洗%半导体
超臨界CO2%清洗%半導體
초림계CO2%청세%반도체
本文回顾了常规湿法清洗的局限性,在此基础上介绍了超临界CO2清洗及其优越性.论述了超临界CO2清洗在半导体行业的具体应用,并对比使用超临界CO2清洗前后的情况.
本文迴顧瞭常規濕法清洗的跼限性,在此基礎上介紹瞭超臨界CO2清洗及其優越性.論述瞭超臨界CO2清洗在半導體行業的具體應用,併對比使用超臨界CO2清洗前後的情況.
본문회고료상규습법청세적국한성,재차기출상개소료초림계CO2청세급기우월성.논술료초림계CO2청세재반도체행업적구체응용,병대비사용초림계CO2청세전후적정황.
