应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2014年
1期
155-158
,共4页
王旭%王中宇%赵维谦%邱丽荣
王旭%王中宇%趙維謙%邱麗榮
왕욱%왕중우%조유겸%구려영
曲率半径%差动共焦系统%测量不确定度%评定
麯率半徑%差動共焦繫統%測量不確定度%評定
곡솔반경%차동공초계통%측량불학정도%평정
radius of curvature%fifferential confocal system%measurement uncertainty%evaluation
曲率半径是球面光学元件中的重要参数之一,曲率半径的高精度测量已经成为光学元件使用与加工中的一个关键问题.提出了基于差动共焦法的曲率半径测量方法,研制了1套激光差动共焦曲率半径测量系统,并对2组曲率半径测量结果进行不确定度评定.结果表明,2组曲率半径的测量值均与标称值吻合,其相对误差为0.001 15％,两组测量数据的标准不确定度均优于3.211 11×10-4mm.
麯率半徑是毬麵光學元件中的重要參數之一,麯率半徑的高精度測量已經成為光學元件使用與加工中的一箇關鍵問題.提齣瞭基于差動共焦法的麯率半徑測量方法,研製瞭1套激光差動共焦麯率半徑測量繫統,併對2組麯率半徑測量結果進行不確定度評定.結果錶明,2組麯率半徑的測量值均與標稱值吻閤,其相對誤差為0.001 15％,兩組測量數據的標準不確定度均優于3.211 11×10-4mm.
곡솔반경시구면광학원건중적중요삼수지일,곡솔반경적고정도측량이경성위광학원건사용여가공중적일개관건문제.제출료기우차동공초법적곡솔반경측량방법,연제료1투격광차동공초곡솔반경측량계통,병대2조곡솔반경측량결과진행불학정도평정.결과표명,2조곡솔반경적측량치균여표칭치문합,기상대오차위0.001 15％,량조측량수거적표준불학정도균우우3.211 11×10-4mm.
