应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2014年
1期
150-154
,共5页
陈烽%杨青%边浩%杜广庆%柳克银%孟祥卫%邓泽方%山超
陳烽%楊青%邊浩%杜廣慶%柳剋銀%孟祥衛%鄧澤方%山超
진봉%양청%변호%두엄경%류극은%맹상위%산택방%산초
飞秒激光%微纳制造%湿法刻蚀%微透镜%微通道
飛秒激光%微納製造%濕法刻蝕%微透鏡%微通道
비초격광%미납제조%습법각식%미투경%미통도
femtosecond laser%micro-and nano-fabrication%wet etch%microlens%microchannel
飞秒激光微加工作为一种新型微纳制造技术,在复杂三维构型制作方面具有其独特的优势,但激光加工效率问题严重制约了飞秒激光微加工技术走向实际工程应用,提出一种飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法,以提高飞秒激光微加工的效率为突破口,通过调控激光与物质相互作用获得材料的目标靶向改性,进而结合化学湿法刻蚀实现硬质材料上的高效和高精度三维微加工,采用这一方法制作出的微透镜尺寸为80 μm,球冠高6.7 μm,表面粗糙度小于10 nm.利用这种方法,实现了不同结构与特性的高质量微透镜阵列的超精密制备,在石英内部也实现了螺旋微通道的复杂三维结构,螺旋通道直径为20μm,长径比超过100.
飛秒激光微加工作為一種新型微納製造技術,在複雜三維構型製作方麵具有其獨特的優勢,但激光加工效率問題嚴重製約瞭飛秒激光微加工技術走嚮實際工程應用,提齣一種飛秒激光濕法刻蝕微納製造方法,以提高飛秒激光微加工的效率為突破口,通過調控激光與物質相互作用穫得材料的目標靶嚮改性,進而結閤化學濕法刻蝕實現硬質材料上的高效和高精度三維微加工,採用這一方法製作齣的微透鏡呎吋為80 μm,毬冠高6.7 μm,錶麵粗糙度小于10 nm.利用這種方法,實現瞭不同結構與特性的高質量微透鏡陣列的超精密製備,在石英內部也實現瞭螺鏇微通道的複雜三維結構,螺鏇通道直徑為20μm,長徑比超過100.
비초격광미가공작위일충신형미납제조기술,재복잡삼유구형제작방면구유기독특적우세,단격광가공효솔문제엄중제약료비초격광미가공기술주향실제공정응용,제출일충비초격광습법각식미납제조방법,이제고비초격광미가공적효솔위돌파구,통과조공격광여물질상호작용획득재료적목표파향개성,진이결합화학습법각식실현경질재료상적고효화고정도삼유미가공,채용저일방법제작출적미투경척촌위80 μm,구관고6.7 μm,표면조조도소우10 nm.이용저충방법,실현료불동결구여특성적고질량미투경진렬적초정밀제비,재석영내부야실현료라선미통도적복잡삼유결구,라선통도직경위20μm,장경비초과100.
