应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2014年
1期
85-89
,共5页
光学检测%干涉测量%子孔径拼接%最小二乘拟合
光學檢測%榦涉測量%子孔徑拼接%最小二乘擬閤
광학검측%간섭측량%자공경병접%최소이승의합
optical testing%interferometry%sub-aperture stitching%least squares fitting
为了解决高精度光学反射镜的子孔径拼接检测问题,基于最小二乘拟合,依据拼接算法建立数学模型,编制了拼接程序,同时对口径为Φ120 mm的平面反射镜进行了拼接检测.检测中,基于标记点确定子孔径间的相对位置,完成子孔径间的对准.分别基于全口径检测结果与自检验子孔径测试结果对拼接结果进行精度分析.实验结果表明:拼接结果无“拼痕”,拼接结果与全口径测试结果、自检验子孔径测试结果一致;拼接结果与全口径面形测试的PV值与RMS值的偏差分别为0.020λ与0.002λ,验证了检测的可靠性和准确性.
為瞭解決高精度光學反射鏡的子孔徑拼接檢測問題,基于最小二乘擬閤,依據拼接算法建立數學模型,編製瞭拼接程序,同時對口徑為Φ120 mm的平麵反射鏡進行瞭拼接檢測.檢測中,基于標記點確定子孔徑間的相對位置,完成子孔徑間的對準.分彆基于全口徑檢測結果與自檢驗子孔徑測試結果對拼接結果進行精度分析.實驗結果錶明:拼接結果無“拼痕”,拼接結果與全口徑測試結果、自檢驗子孔徑測試結果一緻;拼接結果與全口徑麵形測試的PV值與RMS值的偏差分彆為0.020λ與0.002λ,驗證瞭檢測的可靠性和準確性.
위료해결고정도광학반사경적자공경병접검측문제,기우최소이승의합,의거병접산법건립수학모형,편제료병접정서,동시대구경위Φ120 mm적평면반사경진행료병접검측.검측중,기우표기점학정자공경간적상대위치,완성자공경간적대준.분별기우전구경검측결과여자검험자공경측시결과대병접결과진행정도분석.실험결과표명:병접결과무“병흔”,병접결과여전구경측시결과、자검험자공경측시결과일치;병접결과여전구경면형측시적PV치여RMS치적편차분별위0.020λ여0.002λ,험증료검측적가고성화준학성.
