应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2014年
1期
7-10
,共4页
光学设计%定心仪%高精度%PSD%非线性
光學設計%定心儀%高精度%PSD%非線性
광학설계%정심의%고정도%PSD%비선성
optical design%centering instrument%high-precision%position sensitive detector%nonlinear
针对目前定心仪精度不高、并依赖于人眼的现状,提出一种基于PSD的高精度定心仪研究方法.采用自准直光路形式和位置敏感探测器PSD对经过被测目标返回的光斑实行定位,并通过读取计算机上的坐标值来判断是否达到准确的定心.文中对定心仪的光学系统进行设计,并运用神经网络的训练来校正PSD的非线性,在测量范围±2 mm～±500 mm内定心精度达到1μm的设计要求.
針對目前定心儀精度不高、併依賴于人眼的現狀,提齣一種基于PSD的高精度定心儀研究方法.採用自準直光路形式和位置敏感探測器PSD對經過被測目標返迴的光斑實行定位,併通過讀取計算機上的坐標值來判斷是否達到準確的定心.文中對定心儀的光學繫統進行設計,併運用神經網絡的訓練來校正PSD的非線性,在測量範圍±2 mm～±500 mm內定心精度達到1μm的設計要求.
침대목전정심의정도불고、병의뢰우인안적현상,제출일충기우PSD적고정도정심의연구방법.채용자준직광로형식화위치민감탐측기PSD대경과피측목표반회적광반실행정위,병통과독취계산궤상적좌표치래판단시부체도준학적정심.문중대정심의적광학계통진행설계,병운용신경망락적훈련래교정PSD적비선성,재측량범위±2 mm～±500 mm내정심정도체도1μm적설계요구.
