反射环对区熔炉温度场的影响
반사배대구용로온도장적영향
Influence of reflection ring on temperature field of float-zone furnace
  • 万方数据
    机电工程 궤전공정
    MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
    2014年 1期 62-66 ,共5页

    傅林坚%曹建伟%沈文杰%朱亮%张俊%石刚%欧阳鹏根%叶欣%邱敏秀

    부림견%조건위%침문걸%주량%장준%석강%구양붕근%협흔%구민수

    悬浮区熔法%反射环%数值模拟%温度场 懸浮區鎔法%反射環%數值模擬%溫度場
    현부구용법%반사배%수치모의%온도장
    float zone method%reflection ring%numerical simulation%temperature field
    针对悬浮区熔法生长较大直径的单晶硅时,单晶硅外部的轴向温度梯度比内部温度梯度大很多,从而导致硅单晶径向电阻率不均匀及生长裂纹的问题.通过有限元法对生长区熔硅单晶的温度场进行了数值模拟,建立了有反射环和无反射环的两种模型,得到了两种模型下的单晶温度分布图,并对比分析了两种模型下的单晶外表面温度分布及纵向温度梯度分布.研究结果表明,反射环可改善温度场分布,降低单晶硅外表面轴向温度梯度,使晶体径向温度趋于一致,提高硅单晶径向电阻率均匀性,并有效解决了生长过程中单晶硅易出现裂纹的问题.
    침대현부구용법생장교대직경적단정규시,단정규외부적축향온도제도비내부온도제도대흔다,종이도치규단정경향전조솔불균균급생장렬문적문제.통과유한원법대생장구용규단정적온도장진행료수치모의,건립료유반사배화무반사배적량충모형,득도료량충모형하적단정온도분포도,병대비분석료량충모형하적단정외표면온도분포급종향온도제도분포.연구결과표명,반사배가개선온도장분포,강저단정규외표면축향온도제도,사정체경향온도추우일치,제고규단정경향전조솔균균성,병유효해결료생장과정중단정규역출현렬문적문제.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문