光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
2期
376-382
,共7页
谢晋%刘旭冉%吴可可%李萍%卢泳贤
謝晉%劉旭冉%吳可可%李萍%盧泳賢
사진%류욱염%오가가%리평%로영현
白光干涉术%自适应方向检测%微结构表面%微磨削精度
白光榦涉術%自適應方嚮檢測%微結構錶麵%微磨削精度
백광간섭술%자괄응방향검측%미결구표면%미마삭정도
White Light Interferometry (WLI)%adaptive-orientation measurement%micro-structured surface%micro-machining accuracy
用白光干涉检测(WLI)法检测微结构表面形貌时,其光滑结构面和边角数据很容易丢失,因此本文提出了自适应方向WLI检测法.该方法分别沿着每个微斜面法向进行自适应方向检测,评价分析其面形、特征轮廓和特征点的加工精度.首先,采用# 3000金刚石砂轮微细尖端在Si表面加工出高度为50 μm、宽度为56 μm且光滑的微锥塔结构.然后,利用四次检测点云对微磨削表面进行拼接与重建.最后,分析面形误差、特征轮廓误差和特征点误差.实验显示:自适应方向WLI检测可以重构出完整的微锥塔结构表面,微磨削的面形误差为5.3 μm,表明该微磨削技术可以确保微锥塔结构光滑Si表面的加工精度.但是,对微锥塔结构表面特征轮廓误差及特征点误差的评价表明,特征轮廓误差高达7.7μm,而特征点误差约为15 μm,约为面形误差的3倍.分析认为这些误差是由微金刚石砂轮V形尖端磨钝及微磨粒钝化造成的.
用白光榦涉檢測(WLI)法檢測微結構錶麵形貌時,其光滑結構麵和邊角數據很容易丟失,因此本文提齣瞭自適應方嚮WLI檢測法.該方法分彆沿著每箇微斜麵法嚮進行自適應方嚮檢測,評價分析其麵形、特徵輪廓和特徵點的加工精度.首先,採用# 3000金剛石砂輪微細尖耑在Si錶麵加工齣高度為50 μm、寬度為56 μm且光滑的微錐塔結構.然後,利用四次檢測點雲對微磨削錶麵進行拼接與重建.最後,分析麵形誤差、特徵輪廓誤差和特徵點誤差.實驗顯示:自適應方嚮WLI檢測可以重構齣完整的微錐塔結構錶麵,微磨削的麵形誤差為5.3 μm,錶明該微磨削技術可以確保微錐塔結構光滑Si錶麵的加工精度.但是,對微錐塔結構錶麵特徵輪廓誤差及特徵點誤差的評價錶明,特徵輪廓誤差高達7.7μm,而特徵點誤差約為15 μm,約為麵形誤差的3倍.分析認為這些誤差是由微金剛石砂輪V形尖耑磨鈍及微磨粒鈍化造成的.
용백광간섭검측(WLI)법검측미결구표면형모시,기광활결구면화변각수거흔용역주실,인차본문제출료자괄응방향WLI검측법.해방법분별연착매개미사면법향진행자괄응방향검측,평개분석기면형、특정륜곽화특정점적가공정도.수선,채용# 3000금강석사륜미세첨단재Si표면가공출고도위50 μm、관도위56 μm차광활적미추탑결구.연후,이용사차검측점운대미마삭표면진행병접여중건.최후,분석면형오차、특정륜곽오차화특정점오차.실험현시:자괄응방향WLI검측가이중구출완정적미추탑결구표면,미마삭적면형오차위5.3 μm,표명해미마삭기술가이학보미추탑결구광활Si표면적가공정도.단시,대미추탑결구표면특정륜곽오차급특정점오차적평개표명,특정륜곽오차고체7.7μm,이특정점오차약위15 μm,약위면형오차적3배.분석인위저사오차시유미금강석사륜V형첨단마둔급미마립둔화조성적.
