CAJ | 학술논문

优化了通道型电磁常闭微阀的结构参数,以提高其工作性能.基于近似结构模型对结构参数进行理论分析;以泄漏率为指标,利用有限元方法仿真分析了微通道的宽度、高度,底膜厚度,顶膜厚度及电磁驱动机构压力等主要结构参数对泄漏率的影响.提取了经验公式,基于正交实验法研究了结构参数对泄漏率和开启率的影响.最后,结合理论分析、仿真和正交实验结果对微阀结构参数进行了优化.实验结果表明,通道高度和宽度对泄漏率影响最大,通道高度对开启率影响最大.获得最优开闭性能的结构参数组合为:通道宽度1 mm,高度0.1mm,底膜厚度0.2 mm,顶膜厚度0.2 mm,电磁机构压力3×10λ Pa.基于该结构参数组合的微阀在10 kPa内可以实现零泄漏及近似完全开启.该阀具有易与微流控芯片集成、低电压驱动、制作简单、无死体积等优点.
우화료통도형전자상폐미벌적결구삼수,이제고기공작성능.기우근사결구모형대결구삼수진행이론분석;이설루솔위지표,이용유한원방법방진분석료미통도적관도、고도,저막후도,정막후도급전자구동궤구압력등주요결구삼수대설루솔적영향.제취료경험공식,기우정교실험법연구료결구삼수대설루솔화개계솔적영향.최후,결합이론분석、방진화정교실험결과대미벌결구삼수진행료우화.실험결과표명,통도고도화관도대설루솔영향최대,통도고도대개계솔영향최대.획득최우개폐성능적결구삼수조합위:통도관도1 mm,고도0.1mm,저막후도0.2 mm,정막후도0.2 mm,전자궤구압력3×10λ Pa.기우해결구삼수조합적미벌재10 kPa내가이실현령설루급근사완전개계.해벌구유역여미류공심편집성、저전압구동、제작간단、무사체적등우점.