暨南大学学报（自然科学与医学版）
暨南大學學報（自然科學與醫學版）
기남대학학보（자연과학여의학판）
JOURNAL OF JINAN UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE & MEDICINE EDITION）
2014年
2期
201-204
,共4页
Si雕塑薄膜%动力学蒙特卡罗方法%波浪形预结构
Si彫塑薄膜%動力學矇特卡囉方法%波浪形預結構
Si조소박막%동역학몽특잡라방법%파랑형예결구
Si sculptured thin films%kinetic monte-carlo method%nano-patterned substrate
通过引入周期性排列波浪形预结构基底，建立了Si薄膜生长的三维动力学Monte Carlo模型。利用该模型在此基底上分别正常沉积和倾斜沉积Si薄膜，研究薄膜在不同沉积条件下的生长过程及其内在的生长规律。通过计算机模拟，论证了在正常沉积条件下薄膜呈均匀生长模式，而在大角度倾斜沉积条件下，薄膜生长呈各向异性非均匀生长模式。
通過引入週期性排列波浪形預結構基底，建立瞭Si薄膜生長的三維動力學Monte Carlo模型。利用該模型在此基底上分彆正常沉積和傾斜沉積Si薄膜，研究薄膜在不同沉積條件下的生長過程及其內在的生長規律。通過計算機模擬，論證瞭在正常沉積條件下薄膜呈均勻生長模式，而在大角度傾斜沉積條件下，薄膜生長呈各嚮異性非均勻生長模式。
통과인입주기성배렬파랑형예결구기저，건립료Si박막생장적삼유동역학Monte Carlo모형。이용해모형재차기저상분별정상침적화경사침적Si박막，연구박막재불동침적조건하적생장과정급기내재적생장규률。통과계산궤모의，론증료재정상침적조건하박막정균균생장모식，이재대각도경사침적조건하，박막생장정각향이성비균균생장모식。
A uniform arranged triangular prism structure is introduced in our 3 D KMC simulation model to mimic the nano-patterned substrate to explore the growth evolution of Si films under different deposition conditions.Through computer simulation,the results show that the growth proceeds highly conformal,resulting in a thin modulated film,but there is a transition of growth mode from continuous growth to anisotropic columnar under (GLAD)conditions.
