分析仪器
分析儀器
분석의기
ANALYTICAL INSTRUMENTATION
2014年
1期
114-118
,共5页
聚焦离子束扫描电镜(FIB )%双束系统%应用
聚焦離子束掃描電鏡(FIB )%雙束繫統%應用
취초리자속소묘전경(FIB )%쌍속계통%응용
focused ion beam scanning electron microscope (FIB)%dual beam%application
近年来，聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB ）因具有独一无二的优势，广泛应用于材料科学、微纳加工、半导体器件制造中。尤其是其精密加工和定位加工的特点，获得了众多研究者的青睐。本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用。
近年來，聚焦離子束掃描電子顯微鏡（FIB ）因具有獨一無二的優勢，廣汎應用于材料科學、微納加工、半導體器件製造中。尤其是其精密加工和定位加工的特點，穫得瞭衆多研究者的青睞。本文介紹瞭聚焦離子束電鏡雙束繫統在材料研究中的幾種應用。
근년래，취초리자속소묘전자현미경（FIB ）인구유독일무이적우세，엄범응용우재료과학、미납가공、반도체기건제조중。우기시기정밀가공화정위가공적특점，획득료음다연구자적청래。본문개소료취초리자속전경쌍속계통재재료연구중적궤충응용。
In recent years ,focused ion beam scanning electron microscope (FIB) become a new method in material science ,micro-nanofabrication ,semiconductor device manufacturing applications becouse of its unique advantage. In this paper ,the applications of FIB dual beam system in material research was intro-duced.
