航空兵器
航空兵器
항공병기
HANGKONG BINGQI
2014年
2期
38-40
,共3页
微光机电系统( MEMS )%二维扭转镜%SOI工艺%静电驱动
微光機電繫統( MEMS )%二維扭轉鏡%SOI工藝%靜電驅動
미광궤전계통( MEMS )%이유뉴전경%SOI공예%정전구동
MEMS%two-dimensional micro torsion mirror%SOI production process%electrostatic drive
二维MEMS扭转镜广泛应用于光纤通讯、投影显示、数据存储、精密测量、医疗成像和生物技术等国防和民用领域。在分析二维MEMS扭转镜工作原理的基础上，利用L-edit软件对二维MEMS扭转镜器件的版图进行了设计。基于SOI （ Silicon-On-Insulator ）制作工艺，确定了扭转镜器件加工工艺流程，按照工艺流程成功制造出二维扭转镜样件，并对制作完成后的器件进行初步的性能测试，获得了不同的扫描图形。
二維MEMS扭轉鏡廣汎應用于光纖通訊、投影顯示、數據存儲、精密測量、醫療成像和生物技術等國防和民用領域。在分析二維MEMS扭轉鏡工作原理的基礎上，利用L-edit軟件對二維MEMS扭轉鏡器件的版圖進行瞭設計。基于SOI （ Silicon-On-Insulator ）製作工藝，確定瞭扭轉鏡器件加工工藝流程，按照工藝流程成功製造齣二維扭轉鏡樣件，併對製作完成後的器件進行初步的性能測試，穫得瞭不同的掃描圖形。
이유MEMS뉴전경엄범응용우광섬통신、투영현시、수거존저、정밀측량、의료성상화생물기술등국방화민용영역。재분석이유MEMS뉴전경공작원리적기출상，이용L-edit연건대이유MEMS뉴전경기건적판도진행료설계。기우SOI （ Silicon-On-Insulator ）제작공예，학정료뉴전경기건가공공예류정，안조공예류정성공제조출이유뉴전경양건，병대제작완성후적기건진행초보적성능측시，획득료불동적소묘도형。
Two-dimensional MEMS torsion mirror has been widely used in fields of optical fiber commu-nication, projection display, data storage, precision measurement, medical imaging and biotechnology.Based on the working principle of two-dimensional MEMS torsion mirror , the layout is designed by L-edit software . Based on the SOI production process , the device fabrication process is determined , and a two-dimensional tor-sion mirror is created .Through preliminary performance test , different scanning patterns are obtained .
