仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2014年
1期
7-10
,共4页
李海宁%丁杰雄%姜忠%付陆元%刘广民
李海寧%丁傑雄%薑忠%付陸元%劉廣民
리해저%정걸웅%강충%부륙원%류엄민
声表面波谐振器%曲面狭缝%应力仿真%MEMS工艺%封装方式
聲錶麵波諧振器%麯麵狹縫%應力倣真%MEMS工藝%封裝方式
성표면파해진기%곡면협봉%응력방진%MEMS공예%봉장방식
surface acoustic wave resonators%curved slit%stress simulations%MEMS process%package type
为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力,研究设计了一种基于单端声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器的接触应力传感器并研究了其制作工艺.首先,围绕曲面狭缝环境,讨论了作用力测量的传感技术方案,并针对不同的力敏结构在COMSOL Multiphysics软件下进行了应力仿真,进而确定了声表面波谐振器和支撑基底的尺寸参数;其次,结合MEMS工艺对单端SAW谐振器的制作工艺进行了研究,并针对狭缝环境提出一种新型SAW器件封装方式.通过对声表面波传感器设计与制作过程的探究,验证了利用声表面波进行狭缝空间应力测量的可行性.
為瞭測量由兩麯麵組成的狹縫間的作用力,研究設計瞭一種基于單耑聲錶麵波(Surface Acoustic Wave,SAW)諧振器的接觸應力傳感器併研究瞭其製作工藝.首先,圍繞麯麵狹縫環境,討論瞭作用力測量的傳感技術方案,併針對不同的力敏結構在COMSOL Multiphysics軟件下進行瞭應力倣真,進而確定瞭聲錶麵波諧振器和支撐基底的呎吋參數;其次,結閤MEMS工藝對單耑SAW諧振器的製作工藝進行瞭研究,併針對狹縫環境提齣一種新型SAW器件封裝方式.通過對聲錶麵波傳感器設計與製作過程的探究,驗證瞭利用聲錶麵波進行狹縫空間應力測量的可行性.
위료측량유량곡면조성적협봉간적작용력,연구설계료일충기우단단성표면파(Surface Acoustic Wave,SAW)해진기적접촉응력전감기병연구료기제작공예.수선,위요곡면협봉배경,토론료작용력측량적전감기술방안,병침대불동적력민결구재COMSOL Multiphysics연건하진행료응력방진,진이학정료성표면파해진기화지탱기저적척촌삼수;기차,결합MEMS공예대단단SAW해진기적제작공예진행료연구,병침대협봉배경제출일충신형SAW기건봉장방식.통과대성표면파전감기설계여제작과정적탐구,험증료이용성표면파진행협봉공간응력측량적가행성.
