武汉工程大学学报
武漢工程大學學報
무한공정대학학보
JOURNAL OF WUHAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2014年
1期
52-56
,共5页
熊礼威%崔晓慧%汪建华%翁俊%龚国华%张林
熊禮威%崔曉慧%汪建華%翁俊%龔國華%張林
웅례위%최효혜%왕건화%옹준%공국화%장림
单晶硅太阳能电池%铜栅极%附着力
單晶硅太暘能電池%銅柵極%附著力
단정규태양능전지%동책겁%부착력
mono-crystalline silicon solar cells%copper grid%adhesion
晶硅太阳能电池表面的导电栅极主要用于输出电能,若其与基体间的附着力较差,将会极大地降低电池元件的稳定性和使用寿命,而与其他制备方法相比,物理气相沉积法具有可控性好、成本低等优势.为了继承物理气相沉积法的相关优势,同时能够使铜栅极与基片之间具有良好的附着力,利用磁控溅射法在单晶硅上进行铜栅极的制备实验,研究了磁控溅射过程中溅射功率和工作气压等参数对最终制得的铜栅极附着力的影响.采用超声震荡加强实验检测铜栅极的附着力,使用金相显微镜观察铜栅极的整体形貌及断线率,通过扫描电子显微镜观察铜膜的表面形貌.结果表明在溅射功率为180 W,工作气压为0.8 Pa的条件下制备的铜栅极线宽更为均匀,且进行加强实验后断线率为0.
晶硅太暘能電池錶麵的導電柵極主要用于輸齣電能,若其與基體間的附著力較差,將會極大地降低電池元件的穩定性和使用壽命,而與其他製備方法相比,物理氣相沉積法具有可控性好、成本低等優勢.為瞭繼承物理氣相沉積法的相關優勢,同時能夠使銅柵極與基片之間具有良好的附著力,利用磁控濺射法在單晶硅上進行銅柵極的製備實驗,研究瞭磁控濺射過程中濺射功率和工作氣壓等參數對最終製得的銅柵極附著力的影響.採用超聲震盪加彊實驗檢測銅柵極的附著力,使用金相顯微鏡觀察銅柵極的整體形貌及斷線率,通過掃描電子顯微鏡觀察銅膜的錶麵形貌.結果錶明在濺射功率為180 W,工作氣壓為0.8 Pa的條件下製備的銅柵極線寬更為均勻,且進行加彊實驗後斷線率為0.
정규태양능전지표면적도전책겁주요용우수출전능,약기여기체간적부착력교차,장회겁대지강저전지원건적은정성화사용수명,이여기타제비방법상비,물리기상침적법구유가공성호、성본저등우세.위료계승물리기상침적법적상관우세,동시능구사동책겁여기편지간구유량호적부착력,이용자공천사법재단정규상진행동책겁적제비실험,연구료자공천사과정중천사공솔화공작기압등삼수대최종제득적동책겁부착력적영향.채용초성진탕가강실험검측동책겁적부착력,사용금상현미경관찰동책겁적정체형모급단선솔,통과소묘전자현미경관찰동막적표면형모.결과표명재천사공솔위180 W,공작기압위0.8 Pa적조건하제비적동책겁선관경위균균,차진행가강실험후단선솔위0.
