激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2013年
7期
779-784
,共6页
高美静%范祥瑞%顾海华%吴伟龙
高美靜%範祥瑞%顧海華%吳偉龍
고미정%범상서%고해화%오위룡
光学工程%光学微扫描显微热像仪%噪声等效温差%噪声等效辐射率差%电子器件%故障检测
光學工程%光學微掃描顯微熱像儀%譟聲等效溫差%譟聲等效輻射率差%電子器件%故障檢測
광학공정%광학미소묘현미열상의%조성등효온차%조성등효복사솔차%전자기건%고장검측
optical engineering%optical microscanning thermal microscope%noise equivalent temperature difference (NETD)%noise equivalent eradiation difference (NEED)%electronic device%failure testing
为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪.介绍了系统的工作原理、系统构成、工作过程,研究推导了系统噪声等效温差(NETD)和噪声等效辐射率差(NEED)模型,为系统的设计提供了理论指导,基于Matlab完成了整个系统的图像采集处理界面设计.实际图像采集和处理结果表明了本系统设计的合理性.随着产品化,本系统将会用到其他需要显微热分析的场合,具有广泛的应用前景.
為瞭給半導體器件、印刷電路闆和功率器件等電子器件提供細微熱分析的手段,完成電子電路的故障檢測、失效分析和可靠性檢測等,本文基于非製冷焦平麵探測器設計瞭一種新型的光學微掃描顯微熱像儀.介紹瞭繫統的工作原理、繫統構成、工作過程,研究推導瞭繫統譟聲等效溫差(NETD)和譟聲等效輻射率差(NEED)模型,為繫統的設計提供瞭理論指導,基于Matlab完成瞭整箇繫統的圖像採集處理界麵設計.實際圖像採集和處理結果錶明瞭本繫統設計的閤理性.隨著產品化,本繫統將會用到其他需要顯微熱分析的場閤,具有廣汎的應用前景.
위료급반도체기건、인쇄전로판화공솔기건등전자기건제공세미열분석적수단,완성전자전로적고장검측、실효분석화가고성검측등,본문기우비제랭초평면탐측기설계료일충신형적광학미소묘현미열상의.개소료계통적공작원리、계통구성、공작과정,연구추도료계통조성등효온차(NETD)화조성등효복사솔차(NEED)모형,위계통적설계제공료이론지도,기우Matlab완성료정개계통적도상채집처리계면설계.실제도상채집화처리결과표명료본계통설계적합이성.수착산품화,본계통장회용도기타수요현미열분석적장합,구유엄범적응용전경.
