红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2014年
1期
50-54,67
,共6页
黄卓磊%王玮冰%蒋文静%欧文%明安杰%刘战锋%陈大鹏
黃卓磊%王瑋冰%蔣文靜%歐文%明安傑%劉戰鋒%陳大鵬
황탁뢰%왕위빙%장문정%구문%명안걸%류전봉%진대붕
红外探测器%二极管%填充因子%吸收层%读出电路
紅外探測器%二極管%填充因子%吸收層%讀齣電路
홍외탐측기%이겁관%전충인자%흡수층%독출전로
infrared detector%diode%fill-factor%absorber%readout circuit
使用红外探测器及读出电路,研制成功非制冷红外探测系统.探测器用二极管作为温度传感器,使其与集成电路工艺相兼容.采用了新的器件结构,使得填充因子从20％提高到80％.器件的微机械结构面积为35 μm×35 μm.读出电路的失调电压为3μV.探测器的输出噪声为2μV.探测器的电压响应率为7 894.7 V/W,黑体探测率D*为1.56×109 cmHz1/2/W,噪声等效温差为330 mK,响应时间为27 ms.
使用紅外探測器及讀齣電路,研製成功非製冷紅外探測繫統.探測器用二極管作為溫度傳感器,使其與集成電路工藝相兼容.採用瞭新的器件結構,使得填充因子從20％提高到80％.器件的微機械結構麵積為35 μm×35 μm.讀齣電路的失調電壓為3μV.探測器的輸齣譟聲為2μV.探測器的電壓響應率為7 894.7 V/W,黑體探測率D*為1.56×109 cmHz1/2/W,譟聲等效溫差為330 mK,響應時間為27 ms.
사용홍외탐측기급독출전로,연제성공비제랭홍외탐측계통.탐측기용이겁관작위온도전감기,사기여집성전로공예상겸용.채용료신적기건결구,사득전충인자종20％제고도80％.기건적미궤계결구면적위35 μm×35 μm.독출전로적실조전압위3μV.탐측기적수출조성위2μV.탐측기적전압향응솔위7 894.7 V/W,흑체탐측솔D*위1.56×109 cmHz1/2/W,조성등효온차위330 mK,향응시간위27 ms.
