红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2014年
1期
45-49
,共5页
曹远迎%张永刚%李耀耀%顾溢%李爱珍%李好斯白音
曹遠迎%張永剛%李耀耀%顧溢%李愛珍%李好斯白音
조원영%장영강%리요요%고일%리애진%리호사백음
全息光刻%二维光子晶体%柱形%二次显影
全息光刻%二維光子晶體%柱形%二次顯影
전식광각%이유광자정체%주형%이차현영
holographic lithography%two dimensional photonic crystals%column shape%double developments
采用全息光刻和二次显影的方法制备了柱形二维光子晶体.在此过程中,二维点状的周期结构首先在正性光刻胶上直接形成,然后经由Si3N4硬掩模转移到衬底材料上.利用二次显影的方法,曝光强度最强和曝光强度中等区域的光刻胶能够被同时充分显影,而曝光强度最弱区域的光刻胶则可以完全被保留下来.通过调节入射角,可以方便地调节二维结构的周期.利用此方法,在相对较大的面积上制备了不同周期的二维结构,二维结构具有很好的均匀性和重复性.文章对有关的工艺参数进行了详细讨论.
採用全息光刻和二次顯影的方法製備瞭柱形二維光子晶體.在此過程中,二維點狀的週期結構首先在正性光刻膠上直接形成,然後經由Si3N4硬掩模轉移到襯底材料上.利用二次顯影的方法,曝光彊度最彊和曝光彊度中等區域的光刻膠能夠被同時充分顯影,而曝光彊度最弱區域的光刻膠則可以完全被保留下來.通過調節入射角,可以方便地調節二維結構的週期.利用此方法,在相對較大的麵積上製備瞭不同週期的二維結構,二維結構具有很好的均勻性和重複性.文章對有關的工藝參數進行瞭詳細討論.
채용전식광각화이차현영적방법제비료주형이유광자정체.재차과정중,이유점상적주기결구수선재정성광각효상직접형성,연후경유Si3N4경엄모전이도츤저재료상.이용이차현영적방법,폭광강도최강화폭광강도중등구역적광각효능구피동시충분현영,이폭광강도최약구역적광각효칙가이완전피보류하래.통과조절입사각,가이방편지조절이유결구적주기.이용차방법,재상대교대적면적상제비료불동주기적이유결구,이유결구구유흔호적균균성화중복성.문장대유관적공예삼수진행료상세토론.
