红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2014年
1期
40-44
,共5页
CdS%磁控溅射%太阳能电池
CdS%磁控濺射%太暘能電池
CdS%자공천사%태양능전지
CdS%magnetron sputtering%solar cell
用磁控溅射的方法在透明导电氧化物衬底上制备了CdS薄膜,制备时的衬底温度为30 ～ 200℃.X射线衍射测试结果表明在这一条件下制备的CdS薄膜是六角纤锌矿的多晶结构.扫描电子显微镜结果显示薄膜具有较好的晶体质量,这一结论也和拉曼光谱、紫外-可见吸收光谱、光致发光光谱的结果一致.拉曼光谱显示CdS薄膜内部的压应力随着制备温度的提高而增大.
用磁控濺射的方法在透明導電氧化物襯底上製備瞭CdS薄膜,製備時的襯底溫度為30 ～ 200℃.X射線衍射測試結果錶明在這一條件下製備的CdS薄膜是六角纖鋅礦的多晶結構.掃描電子顯微鏡結果顯示薄膜具有較好的晶體質量,這一結論也和拉曼光譜、紫外-可見吸收光譜、光緻髮光光譜的結果一緻.拉曼光譜顯示CdS薄膜內部的壓應力隨著製備溫度的提高而增大.
용자공천사적방법재투명도전양화물츤저상제비료CdS박막,제비시적츤저온도위30 ～ 200℃.X사선연사측시결과표명재저일조건하제비적CdS박막시륙각섬자광적다정결구.소묘전자현미경결과현시박막구유교호적정체질량,저일결론야화랍만광보、자외-가견흡수광보、광치발광광보적결과일치.랍만광보현시CdS박막내부적압응력수착제비온도적제고이증대.
