仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2014年
2期
475-480
,共6页
王金涛%刘子勇%佟林%罗志勇%李占宏
王金濤%劉子勇%佟林%囉誌勇%李佔宏
왕금도%류자용%동림%라지용%리점굉
单晶硅球%静液悬浮%近硅密度液体%压缩系数%热膨胀系数%测量
單晶硅毬%靜液懸浮%近硅密度液體%壓縮繫數%熱膨脹繫數%測量
단정규구%정액현부%근규밀도액체%압축계수%열팽창계수%측량
silicon single crystal sphere%hydrostatic suspension%density standard liquid close to silicon%compression coefficient%thermal expansion coefficient%measurement
近单晶硅密度液体(DSL-2329)广泛应用于单晶硅材料的高精密加工工艺中,其液体压缩系数准确测量对于单晶硅加工质量控制具有重要意义.为提高已有测量方法的精度,研究了一种基于单晶硅球静液悬浮原理的DSL-2329液体压缩系数测量方法.将单晶硅球放置于充满DSL-2329液体的密闭容器内,通过改变DSL-2329液体的温度和静压力可以进行液体密度的微量调节,从而实现单晶硅球在液体中的静液悬浮.对于一个单晶硅球而言,可以在不同液体温度和静压力条件下实现静液悬浮,其中温度和静压力满足线性模型,测量出这个线性常数就可以计算出液体压缩系数.设计了单晶硅球静液悬浮测量系统,实现水浴温控系统在3h之内可以保持在±1.0 ×10 4℃的范围内,通过PID控制系统调节静压力实现单晶硅球的静态悬浮.实验数据表明,由三溴丙烷和二溴乙烷组成的DSL-2329液体压缩系数为5.15×10-10 Pa-1,验证了单晶硅球静液悬浮测量方法的有效性.
近單晶硅密度液體(DSL-2329)廣汎應用于單晶硅材料的高精密加工工藝中,其液體壓縮繫數準確測量對于單晶硅加工質量控製具有重要意義.為提高已有測量方法的精度,研究瞭一種基于單晶硅毬靜液懸浮原理的DSL-2329液體壓縮繫數測量方法.將單晶硅毬放置于充滿DSL-2329液體的密閉容器內,通過改變DSL-2329液體的溫度和靜壓力可以進行液體密度的微量調節,從而實現單晶硅毬在液體中的靜液懸浮.對于一箇單晶硅毬而言,可以在不同液體溫度和靜壓力條件下實現靜液懸浮,其中溫度和靜壓力滿足線性模型,測量齣這箇線性常數就可以計算齣液體壓縮繫數.設計瞭單晶硅毬靜液懸浮測量繫統,實現水浴溫控繫統在3h之內可以保持在±1.0 ×10 4℃的範圍內,通過PID控製繫統調節靜壓力實現單晶硅毬的靜態懸浮.實驗數據錶明,由三溴丙烷和二溴乙烷組成的DSL-2329液體壓縮繫數為5.15×10-10 Pa-1,驗證瞭單晶硅毬靜液懸浮測量方法的有效性.
근단정규밀도액체(DSL-2329)엄범응용우단정규재료적고정밀가공공예중,기액체압축계수준학측량대우단정규가공질량공제구유중요의의.위제고이유측량방법적정도,연구료일충기우단정규구정액현부원리적DSL-2329액체압축계수측량방법.장단정규구방치우충만DSL-2329액체적밀폐용기내,통과개변DSL-2329액체적온도화정압력가이진행액체밀도적미량조절,종이실현단정규구재액체중적정액현부.대우일개단정규구이언,가이재불동액체온도화정압력조건하실현정액현부,기중온도화정압력만족선성모형,측량출저개선성상수취가이계산출액체압축계수.설계료단정규구정액현부측량계통,실현수욕온공계통재3h지내가이보지재±1.0 ×10 4℃적범위내,통과PID공제계통조절정압력실현단정규구적정태현부.실험수거표명,유삼추병완화이추을완조성적DSL-2329액체압축계수위5.15×10-10 Pa-1,험증료단정규구정액현부측량방법적유효성.
