中国化工贸易
中國化工貿易
중국화공무역
CHINA CHEMICAL TRADE
2014年
2期
87-87
,共1页
宋张佐%刘阳赞%王世松%蔡永明
宋張佐%劉暘讚%王世鬆%蔡永明
송장좌%류양찬%왕세송%채영명
多晶硅%还原炉%接地故障
多晶硅%還原爐%接地故障
다정규%환원로%접지고장
高纯三氯氢硅与氢气在还原炉内反应生成硅为改良西门子法生产多晶硅的关键步骤，还原炉运行情况对多晶硅的质量、产量及设备本体有极大的影响。接地故障是还原炉非正常停炉的常见原因。文章分析、总结接地故障发生的原因并提出相应预防措施。
高純三氯氫硅與氫氣在還原爐內反應生成硅為改良西門子法生產多晶硅的關鍵步驟，還原爐運行情況對多晶硅的質量、產量及設備本體有極大的影響。接地故障是還原爐非正常停爐的常見原因。文章分析、總結接地故障髮生的原因併提齣相應預防措施。
고순삼록경규여경기재환원로내반응생성규위개량서문자법생산다정규적관건보취，환원로운행정황대다정규적질량、산량급설비본체유겁대적영향。접지고장시환원로비정상정로적상견원인。문장분석、총결접지고장발생적원인병제출상응예방조시。
