材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2014年
5期
47-52,73
,共7页
孙洪涛%王小平%王丽军%孙义清%王金烨%王子风%曹双迎
孫洪濤%王小平%王麗軍%孫義清%王金燁%王子風%曹雙迎
손홍도%왕소평%왕려군%손의청%왕금엽%왕자풍%조쌍영
金刚石薄膜%摩擦学性能%纳米金刚石薄膜%掺杂类金刚石薄膜
金剛石薄膜%摩抆學性能%納米金剛石薄膜%摻雜類金剛石薄膜
금강석박막%마찰학성능%납미금강석박막%참잡류금강석박막
diamond films%tribological properties%nano-crystalline diamond film%doped diamond like carbon film
化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜通常是一种表面粗糙的多晶薄膜,其摩擦系数相对于光滑金刚石明显偏高,这制约着其在摩擦学领域的应用.在综合分析近年来该领域研究的基础上,总结了CVD金刚石薄膜摩擦学性能的主要影响因素,并从降低其摩擦系数的角度出发,着重讨论了几种提高CVD金刚石薄膜摩擦性能的途径.
化學氣相沉積(Chemical vapor deposition,CVD)金剛石薄膜通常是一種錶麵粗糙的多晶薄膜,其摩抆繫數相對于光滑金剛石明顯偏高,這製約著其在摩抆學領域的應用.在綜閤分析近年來該領域研究的基礎上,總結瞭CVD金剛石薄膜摩抆學性能的主要影響因素,併從降低其摩抆繫數的角度齣髮,著重討論瞭幾種提高CVD金剛石薄膜摩抆性能的途徑.
화학기상침적(Chemical vapor deposition,CVD)금강석박막통상시일충표면조조적다정박막,기마찰계수상대우광활금강석명현편고,저제약착기재마찰학영역적응용.재종합분석근년래해영역연구적기출상,총결료CVD금강석박막마찰학성능적주요영향인소,병종강저기마찰계수적각도출발,착중토론료궤충제고CVD금강석박막마찰성능적도경.
