ZnO纳米/微米结构传感器对乙醇气敏性研究
ZnO납미/미미결구전감기대을순기민성연구
Gas-sensitive Property of Nano/Micro-structured ZnO Sensors on Ethanol
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2014年 4期 460-464 ,共5页

    曹培江%彭双娇%韩舜%柳文军%贾芳%曾玉祥%朱德亮%吕有明

    조배강%팽쌍교%한순%류문군%가방%증옥상%주덕량%려유명

    ZnO%化学气相法%气敏特性%缺陷含量 ZnO%化學氣相法%氣敏特性%缺陷含量
    ZnO%화학기상법%기민특성%결함함량
    ZnO%chemical vapor deposition%gas sensing property%defect content
    采用化学气相法分别在石英舟内表面和单晶硅衬底上制备了ZnO微米片、纳米线、微米四足体以及微米球4种结构,并制作了相应的气敏传感器.扫描电子显微镜、气敏测试仪等结果显示:合成的ZnO纳米/微米结构尺寸在200 nm～100 μm之间,传感器最佳工作电流区间为120～130 mA,其中微米四足体制备的传感器灵敏度高达127,展现出优异的气敏特性.在4种结构中,微米四足体材料内部的Vo缺陷含量最高,结合气敏测试与荧光光谱结果,我们认为材料内部的VO缺陷含量是影响材料气敏特性的最重要因素.
    채용화학기상법분별재석영주내표면화단정규츤저상제비료ZnO미미편、납미선、미미사족체이급미미구4충결구,병제작료상응적기민전감기.소묘전자현미경、기민측시의등결과현시:합성적ZnO납미/미미결구척촌재200 nm～100 μm지간,전감기최가공작전류구간위120～130 mA,기중미미사족체제비적전감기령민도고체127,전현출우이적기민특성.재4충결구중,미미사족체재료내부적Vo결함함량최고,결합기민측시여형광광보결과,아문인위재료내부적VO결함함량시영향재료기민특성적최중요인소.
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