CAJ | 학술논문

随着显示技术的发展，工控设备、车载装置等显示产品的市场占有率逐渐升高，然而工控、车载市场对显示器件增加的需求不仅体现在量上，对产品在极限使用环境下的信赖性也提出了全面的挑战。由Al建成的TFT-LCD 配线区的金属线路，很容易发生端子腐蚀， Mo以Al/Mo或者Mo/Al/Mo的膜层结构形式将空气中的水氧与Al隔绝，但是Mo也只能在一段时间内的保护Al不被腐蚀，在RA极限测试条件下，水中氧会穿过Mo的柱状晶体缝隙，与Al发生反应。故本文研究通过提高PVD成膜时玻璃基板温度改善 Mo层膜质，通过 SEM、TEM分析和盐雾测试验证不同条件对 TFT端子腐蚀的影响，结果发现提高PVD成膜时玻璃基板温度可以改善TFT端子腐蚀。
수착현시기술적발전，공공설비、차재장치등현시산품적시장점유솔축점승고，연이공공、차재시장대현시기건증가적수구불부체현재량상，대산품재겁한사용배경하적신뢰성야제출료전면적도전。유Al건성적TFT-LCD 배선구적금속선로，흔용역발생단자부식， Mo이Al/Mo혹자Mo/Al/Mo적막층결구형식장공기중적수양여Al격절，단시Mo야지능재일단시간내적보호Al불피부식，재RA겁한측시조건하，수중양회천과Mo적주상정체봉극，여Al발생반응。고본문연구통과제고PVD성막시파리기판온도개선 Mo층막질，통과 SEM、TEM분석화염무측시험증불동조건대 TFT단자부식적영향，결과발현제고PVD성막시파리기판온도가이개선TFT단자부식。