常州大学学报（自然科学版）
常州大學學報（自然科學版）
상주대학학보（자연과학판）
Journal of ChangZhou University(Natural Science Edition)
2014年
1期
6-9
,共4页
Li掺杂%离子束增强沉积%退火
Li摻雜%離子束增彊沉積%退火
Li참잡%리자속증강침적%퇴화
Li doped%Ion beam enhanced deposition%annealed
利用离子束增强沉积(IBED)法制备了Li掺杂ZnO薄膜(LZO),溅射靶为Li/Zn原子比为5％ZnO的陶瓷靶,实验结果显示:IBED法制备的(LZO)薄膜具有ZnO纤锌矿结构,在500℃高纯氩气下退火35min,薄膜表现为p型导电,薄膜的最低电阻率为35.03Ω·cm,制备的薄膜在可见光范围内的平均透过率在80％以上,p型LZO薄膜禁带宽度小于本征ZnO(3.37eV).
利用離子束增彊沉積(IBED)法製備瞭Li摻雜ZnO薄膜(LZO),濺射靶為Li/Zn原子比為5％ZnO的陶瓷靶,實驗結果顯示:IBED法製備的(LZO)薄膜具有ZnO纖鋅礦結構,在500℃高純氬氣下退火35min,薄膜錶現為p型導電,薄膜的最低電阻率為35.03Ω·cm,製備的薄膜在可見光範圍內的平均透過率在80％以上,p型LZO薄膜禁帶寬度小于本徵ZnO(3.37eV).
이용리자속증강침적(IBED)법제비료Li참잡ZnO박막(LZO),천사파위Li/Zn원자비위5％ZnO적도자파,실험결과현시:IBED법제비적(LZO)박막구유ZnO섬자광결구,재500℃고순아기하퇴화35min,박막표현위p형도전,박막적최저전조솔위35.03Ω·cm,제비적박막재가견광범위내적평균투과솔재80％이상,p형LZO박막금대관도소우본정ZnO(3.37eV).
