河南科技
河南科技
하남과기
HENANKEJI
2014年
4期
64
,共1页
直拉法%石英坩埚%析晶
直拉法%石英坩堝%析晶
직랍법%석영감과%석정
直拉法硅单晶生长过程中,由于杂质的带入常会导致石英坩埚发生析晶现象,严重影响单晶硅棒的拉制.为了分析该现象,本文借助于石英析晶的机理,探讨了石英坩埚发生析晶现象的具体原因与应对措施.影响直拉法石英坩埚发生析晶的因素包括操作规范、坩埚质量及外界因素等.
直拉法硅單晶生長過程中,由于雜質的帶入常會導緻石英坩堝髮生析晶現象,嚴重影響單晶硅棒的拉製.為瞭分析該現象,本文藉助于石英析晶的機理,探討瞭石英坩堝髮生析晶現象的具體原因與應對措施.影響直拉法石英坩堝髮生析晶的因素包括操作規範、坩堝質量及外界因素等.
직랍법규단정생장과정중,유우잡질적대입상회도치석영감과발생석정현상,엄중영향단정규봉적랍제.위료분석해현상,본문차조우석영석정적궤리,탐토료석영감과발생석정현상적구체원인여응대조시.영향직랍법석영감과발생석정적인소포괄조작규범、감과질량급외계인소등.
