光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2014年
4期
295-299,310
,共6页
面形检测%数字刀口检测技术%干涉检测技术%投影检测技术
麵形檢測%數字刀口檢測技術%榦涉檢測技術%投影檢測技術
면형검측%수자도구검측기술%간섭검측기술%투영검측기술
surface characterization inspection%digital edge detection technology%interference detection technology%projection detection technology
随着光学元件的广泛应用,对光学元件面形检测提出了更严格的要求.目前常用的检测光学元件面形的方法有数字刀口检测技术和干涉检测技术,比较这两种方法的检测原理及优缺点,提出了一种适用于工厂在线检测的三维检测方法——投影检测技术.用该方法的检测原理和关键技术对光学元件进行实验验证,证明了投影检测技术这一新方法具有实际应用价值.
隨著光學元件的廣汎應用,對光學元件麵形檢測提齣瞭更嚴格的要求.目前常用的檢測光學元件麵形的方法有數字刀口檢測技術和榦涉檢測技術,比較這兩種方法的檢測原理及優缺點,提齣瞭一種適用于工廠在線檢測的三維檢測方法——投影檢測技術.用該方法的檢測原理和關鍵技術對光學元件進行實驗驗證,證明瞭投影檢測技術這一新方法具有實際應用價值.
수착광학원건적엄범응용,대광학원건면형검측제출료경엄격적요구.목전상용적검측광학원건면형적방법유수자도구검측기술화간섭검측기술,비교저량충방법적검측원리급우결점,제출료일충괄용우공엄재선검측적삼유검측방법——투영검측기술.용해방법적검측원리화관건기술대광학원건진행실험험증,증명료투영검측기술저일신방법구유실제응용개치.
