光电子技术
光電子技術
광전자기술
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2014年
1期
11-15
,共5页
宋晨辰%赵占霞%马忠权%赵磊%孟凡英
宋晨辰%趙佔霞%馬忠權%趙磊%孟凡英
송신신%조점하%마충권%조뢰%맹범영
SZO薄膜%溅射压强%绒面结构%光学性质
SZO薄膜%濺射壓彊%絨麵結構%光學性質
SZO박막%천사압강%융면결구%광학성질
SZO thin films%deposition temperature%textured structure%optical properties
采用射频磁控溅射方法,分别在0.5 Pa,1.0 Pa,1.5 Pa以及2.0 Pa的溅射压强下制备出了Sc:ZnO(SZO)薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计等设备对样品的晶体结构、表面形貌及光学性质进行了表征.结果表明,当溅射压强为1.5 Pa时,SZO薄膜沿平行于衬底的(100)方向择优生长,形成了织构化的表面形貌,陷光效果增强,可见光透过率达到87％,同时其光散射能力也有了显著提高.
採用射頻磁控濺射方法,分彆在0.5 Pa,1.0 Pa,1.5 Pa以及2.0 Pa的濺射壓彊下製備齣瞭Sc:ZnO(SZO)薄膜,併用X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡、紫外可見光分光光度計等設備對樣品的晶體結構、錶麵形貌及光學性質進行瞭錶徵.結果錶明,噹濺射壓彊為1.5 Pa時,SZO薄膜沿平行于襯底的(100)方嚮擇優生長,形成瞭織構化的錶麵形貌,陷光效果增彊,可見光透過率達到87％,同時其光散射能力也有瞭顯著提高.
채용사빈자공천사방법,분별재0.5 Pa,1.0 Pa,1.5 Pa이급2.0 Pa적천사압강하제비출료Sc:ZnO(SZO)박막,병용X사선연사의、소묘전자현미경、자외가견광분광광도계등설비대양품적정체결구、표면형모급광학성질진행료표정.결과표명,당천사압강위1.5 Pa시,SZO박막연평행우츤저적(100)방향택우생장,형성료직구화적표면형모,함광효과증강,가견광투과솔체도87％,동시기광산사능력야유료현저제고.
