应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2014年
2期
311-315
,共5页
雷亮%李浪林%袁炜%刘新%周金运
雷亮%李浪林%袁煒%劉新%週金運
뢰량%리랑림%원위%류신%주금운
光刻%投影物镜%光学传递函数%MTF
光刻%投影物鏡%光學傳遞函數%MTF
광각%투영물경%광학전체함수%MTF
lithography%projection objective%optical transfer function%MTF
采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405 nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12 mm×12 mm内波像差小于1/4波长、畸变小于0.005％的双远心投影光刻物镜的设计方法.将设计的物镜实物化,并对其光学传递函数(MTF)作精确的实验测定,利用所提出的MTF标准实验测量法,得到该投影物镜的成像性能达亚10μm线宽.
採用Zemax軟件設計齣6鏡片、數值孔徑為0.06、2倍縮小、以405 nm半導體激光器為光源、分辨精度達5μm、視場12 mm×12 mm內波像差小于1/4波長、畸變小于0.005％的雙遠心投影光刻物鏡的設計方法.將設計的物鏡實物化,併對其光學傳遞函數(MTF)作精確的實驗測定,利用所提齣的MTF標準實驗測量法,得到該投影物鏡的成像性能達亞10μm線寬.
채용Zemax연건설계출6경편、수치공경위0.06、2배축소、이405 nm반도체격광기위광원、분변정도체5μm、시장12 mm×12 mm내파상차소우1/4파장、기변소우0.005％적쌍원심투영광각물경적설계방법.장설계적물경실물화,병대기광학전체함수(MTF)작정학적실험측정,이용소제출적MTF표준실험측량법,득도해투영물경적성상성능체아10μm선관.
