应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2014年
2期
270-274
,共5页
向勇%任杰%白满社%陈勇%陈静%张晋宽
嚮勇%任傑%白滿社%陳勇%陳靜%張晉寬
향용%임걸%백만사%진용%진정%장진관
纳米压痕%纳米硬度%表面粗糙度
納米壓痕%納米硬度%錶麵粗糙度
납미압흔%납미경도%표면조조도
nano-indentation%nano-hardness%surface roughness
介绍了纳米压痕测试技术的基础理论及纳米压痕法常用的Oliver-Pharr方法的计算原理.采用纳米压痕试验测得不同表面粗糙度的Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃样品的纳米硬度、弹性模量和载荷一位移曲线.结果表明样品表面粗糙度会降低纳米压痕测试结果的稳定性、准确性和可靠性:样品表面粗糙度越小,测得的纳米硬度和弹性模量值波动越小,载荷-位移曲线重合性越高.随着最大载荷的增大,测得的弹性模量逐渐减小,其原因是压痕边缘材料发生了塑形变形.在超光滑表面样品(Ra=0.9 nm)上测得较为准确的Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃纳米硬度和弹性模量值分别为8.8 GPa和7.79 GPa.纳米压痕测试结果的重合度对于评价超光滑表面完整性研究具有指导意义.
介紹瞭納米壓痕測試技術的基礎理論及納米壓痕法常用的Oliver-Pharr方法的計算原理.採用納米壓痕試驗測得不同錶麵粗糙度的Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃樣品的納米硬度、彈性模量和載荷一位移麯線.結果錶明樣品錶麵粗糙度會降低納米壓痕測試結果的穩定性、準確性和可靠性:樣品錶麵粗糙度越小,測得的納米硬度和彈性模量值波動越小,載荷-位移麯線重閤性越高.隨著最大載荷的增大,測得的彈性模量逐漸減小,其原因是壓痕邊緣材料髮生瞭塑形變形.在超光滑錶麵樣品(Ra=0.9 nm)上測得較為準確的Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃納米硬度和彈性模量值分彆為8.8 GPa和7.79 GPa.納米壓痕測試結果的重閤度對于評價超光滑錶麵完整性研究具有指導意義.
개소료납미압흔측시기술적기출이론급납미압흔법상용적Oliver-Pharr방법적계산원리.채용납미압흔시험측득불동표면조조도적Li2O-Al2O3-SiO2미정파리양품적납미경도、탄성모량화재하일위이곡선.결과표명양품표면조조도회강저납미압흔측시결과적은정성、준학성화가고성:양품표면조조도월소,측득적납미경도화탄성모량치파동월소,재하-위이곡선중합성월고.수착최대재하적증대,측득적탄성모량축점감소,기원인시압흔변연재료발생료소형변형.재초광활표면양품(Ra=0.9 nm)상측득교위준학적Li2O-Al2O3-SiO2미정파리납미경도화탄성모량치분별위8.8 GPa화7.79 GPa.납미압흔측시결과적중합도대우평개초광활표면완정성연구구유지도의의.
