应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2014年
2期
248-253
,共6页
光学薄膜%膜厚监控%非规整膜系
光學薄膜%膜厚鑑控%非規整膜繫
광학박막%막후감공%비규정막계
optical thin-film%thin-film thickness montoring%non-normalized coating system
光学薄膜的光学特性与其每一膜层的厚度密切相关,为了制备出符合要求的光学薄膜产品,在制备过程中必须监控膜厚.光学薄膜实时监控精度决定了所镀制的光学薄膜的厚度精度.针对光电极值法极值点附近监控精度低、无法精确监控非规整膜系的缺陷,提出了新的光学薄膜膜厚监控算法.该算法通过数学运算,使得光学薄膜的光学厚度与透射率呈线性关系,并且有效地消除光源波动、传输噪声等共模干扰的影响,算法精度可控制在2％以内.
光學薄膜的光學特性與其每一膜層的厚度密切相關,為瞭製備齣符閤要求的光學薄膜產品,在製備過程中必鬚鑑控膜厚.光學薄膜實時鑑控精度決定瞭所鍍製的光學薄膜的厚度精度.針對光電極值法極值點附近鑑控精度低、無法精確鑑控非規整膜繫的缺陷,提齣瞭新的光學薄膜膜厚鑑控算法.該算法通過數學運算,使得光學薄膜的光學厚度與透射率呈線性關繫,併且有效地消除光源波動、傳輸譟聲等共模榦擾的影響,算法精度可控製在2％以內.
광학박막적광학특성여기매일막층적후도밀절상관,위료제비출부합요구적광학박막산품,재제비과정중필수감공막후.광학박막실시감공정도결정료소도제적광학박막적후도정도.침대광전겁치법겁치점부근감공정도저、무법정학감공비규정막계적결함,제출료신적광학박막막후감공산법.해산법통과수학운산,사득광학박막적광학후도여투사솔정선성관계,병차유효지소제광원파동、전수조성등공모간우적영향,산법정도가공제재2％이내.
