河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
2期
137-142
,共6页
王英龙%宗煜%褚立志%邓泽超%丁学成
王英龍%宗煜%褚立誌%鄧澤超%丁學成
왕영룡%종욱%저립지%산택초%정학성
纳米Si晶粒%散射电场%激光烧蚀%平均尺寸
納米Si晶粒%散射電場%激光燒蝕%平均呎吋
납미Si정립%산사전장%격광소식%평균척촌
Si nanoparticles%scattering electric field%pulsed ablation%average size
在10 Pa的氩气环境下采用了脉冲激光烧蚀技术(PLA),通过引入散射电场沉积制备了纳米Si晶粒薄膜.X线衍射谱(XRD)和Raman谱测量均证实了在薄膜中已经形成了纳米Si晶粒;利用扫描电子显微镜(SEM)对所制备的薄膜进行了形貌表征.结果表明,纳米Si晶粒的分布以及其平均尺寸均相对于轴向呈对称分布,加入散射电场后纳米Si晶粒的分布范围增大,其平均尺寸最大值所对应与靶的轴向夹角变大.利用MATLAB对烧蚀颗粒在散射电场的运动过程进行数值模拟,得到与实验结果一致的规律.
在10 Pa的氬氣環境下採用瞭脈遲激光燒蝕技術(PLA),通過引入散射電場沉積製備瞭納米Si晶粒薄膜.X線衍射譜(XRD)和Raman譜測量均證實瞭在薄膜中已經形成瞭納米Si晶粒;利用掃描電子顯微鏡(SEM)對所製備的薄膜進行瞭形貌錶徵.結果錶明,納米Si晶粒的分佈以及其平均呎吋均相對于軸嚮呈對稱分佈,加入散射電場後納米Si晶粒的分佈範圍增大,其平均呎吋最大值所對應與靶的軸嚮夾角變大.利用MATLAB對燒蝕顆粒在散射電場的運動過程進行數值模擬,得到與實驗結果一緻的規律.
재10 Pa적아기배경하채용료맥충격광소식기술(PLA),통과인입산사전장침적제비료납미Si정립박막.X선연사보(XRD)화Raman보측량균증실료재박막중이경형성료납미Si정립;이용소묘전자현미경(SEM)대소제비적박막진행료형모표정.결과표명,납미Si정립적분포이급기평균척촌균상대우축향정대칭분포,가입산사전장후납미Si정립적분포범위증대,기평균척촌최대치소대응여파적축향협각변대.이용MATLAB대소식과립재산사전장적운동과정진행수치모의,득도여실험결과일치적규률.
