湖南大学学报（自然科学版）
湖南大學學報（自然科學版）
호남대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUNAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES EDITION)
2014年
3期
43-48
,共6页
申远%王俊杰%竺长安%齐向东
申遠%王俊傑%竺長安%齊嚮東
신원%왕준걸%축장안%제향동
光栅刻划机%光机电集成优化%计算傅里叶光学%智能优化
光柵刻劃機%光機電集成優化%計算傅裏葉光學%智能優化
광책각화궤%광궤전집성우화%계산부리협광학%지능우화
grating ruling machine%opto-mechatronics integration optimization%computational Fourier optics%intelligent optimization
针对大面积衍射光栅刻划机在宏观尺度下进行微纳加工的工作特点以及纳米级刻线检测困难的问题,提出了一种光机电集成优化方法.此方法采用计算傅里叶光学和弦振动理论进行光栅刻线误差分析,结合振动实验及光学测量进行验证,最后采用智能优化方 法对刻划系统进行结构参数优化.虚拟样机仿真结果表明,刻划系统的振动幅度降低了30％,验证了该集成优化方法的有效性.
針對大麵積衍射光柵刻劃機在宏觀呎度下進行微納加工的工作特點以及納米級刻線檢測睏難的問題,提齣瞭一種光機電集成優化方法.此方法採用計算傅裏葉光學和絃振動理論進行光柵刻線誤差分析,結閤振動實驗及光學測量進行驗證,最後採用智能優化方 法對刻劃繫統進行結構參數優化.虛擬樣機倣真結果錶明,刻劃繫統的振動幅度降低瞭30％,驗證瞭該集成優化方法的有效性.
침대대면적연사광책각화궤재굉관척도하진행미납가공적공작특점이급납미급각선검측곤난적문제,제출료일충광궤전집성우화방법.차방법채용계산부리협광학화현진동이론진행광책각선오차분석,결합진동실험급광학측량진행험증,최후채용지능우화방 법대각화계통진행결구삼수우화.허의양궤방진결과표명,각화계통적진동폭도강저료30％,험증료해집성우화방법적유효성.
