计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2014年
2期
113-119
,共7页
郭天太%王晓晓%洪博%赵军%孔明%高思田
郭天太%王曉曉%洪博%趙軍%孔明%高思田
곽천태%왕효효%홍박%조군%공명%고사전
计量学%误差分离%二维精密工作台%系统误差%测量结果%标准不确定度
計量學%誤差分離%二維精密工作檯%繫統誤差%測量結果%標準不確定度
계량학%오차분리%이유정밀공작태%계통오차%측량결과%표준불학정도
Metrology%Error separation%2D precision stage%System error%Measurement results%Uncertainty
针对测量结果中包含的误差,提出一种能够分离精密工作台系统误差的方法.首先利用辅助测量栅格板和二维精密工作台的不同位置进行测量,然后根据栅格板上标记点的测量数据和标称值建立误差分离的数学模型,最终实现对测量结果的误差分离.通过仿真验证了算法的有效性.仿真结果表明:当不存在测量噪声时,能够实现误差的完全分离;当存在测量噪声时,计算值与给定值标准差的相对误差在X轴和y轴上分别为1.95％和1.52％.对于不同幅度的噪声,工作台系统误差计算值稳定.该算法对噪声不敏感,表现出很好的鲁棒性,可用于测量结果和仪器性能的评价.
針對測量結果中包含的誤差,提齣一種能夠分離精密工作檯繫統誤差的方法.首先利用輔助測量柵格闆和二維精密工作檯的不同位置進行測量,然後根據柵格闆上標記點的測量數據和標稱值建立誤差分離的數學模型,最終實現對測量結果的誤差分離.通過倣真驗證瞭算法的有效性.倣真結果錶明:噹不存在測量譟聲時,能夠實現誤差的完全分離;噹存在測量譟聲時,計算值與給定值標準差的相對誤差在X軸和y軸上分彆為1.95％和1.52％.對于不同幅度的譟聲,工作檯繫統誤差計算值穩定.該算法對譟聲不敏感,錶現齣很好的魯棒性,可用于測量結果和儀器性能的評價.
침대측량결과중포함적오차,제출일충능구분리정밀공작태계통오차적방법.수선이용보조측량책격판화이유정밀공작태적불동위치진행측량,연후근거책격판상표기점적측량수거화표칭치건립오차분리적수학모형,최종실현대측량결과적오차분리.통과방진험증료산법적유효성.방진결과표명:당불존재측량조성시,능구실현오차적완전분리;당존재측량조성시,계산치여급정치표준차적상대오차재X축화y축상분별위1.95％화1.52％.대우불동폭도적조성,공작태계통오차계산치은정.해산법대조성불민감,표현출흔호적로봉성,가용우측량결과화의기성능적평개.
